2 research outputs found
Down Stream PE-MOCVD: Physikalisch-Technische Grundlagen der Abscheidung von metallischen und dielektrischen Schichten im Down Stream Plasma
Available from TIB Hannover: F93B457+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekSIGLEDEGerman
Metallorganische Ausgangsverbindungen Abschlussbericht
With 185 refs., 11 tabs., 13 figs.SIGLEAvailable from TIB Hannover: F93B563+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekDEGerman