1 research outputs found
Π€ΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΡΠΈΡ ΡΠ΅Π³ΡΠ»ΡΡΠ½ΡΡ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠΈΠΉ Π² Si ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ Π΄Π»Ρ ΡΠ΅Π»Π΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π° ΡΡΠΈΠ½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π½ΡΡ Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡ
ΠΠ»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ
ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ Π½Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ
ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ
Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΌΠ΅ΠΆΡΡΠΎΡΠ½ΡΠ΅ Π±ΡΡΠ΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠΈ, Π½Π°Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ
ΡΠΎΡΡΠΎΠΈΡ Π² ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΌΠ΅Ρ
Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ, ΠΎΠ±ΡΡΠ»ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΡΡ
ΡΠ°ΡΡΠΎΠ³Π»Π°ΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΎΠΊ ΠΈ ΡΠ°Π·Π½ΠΈΡΠ΅ΠΉ Π’ΠΠ . Π’Π΅ΠΌΠΏΠ»Π΅ΡΠ½ΠΎ- Π±ΡΡΠ΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄Π»Π°Π³Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΏΡΡΠ΅ΠΌ Π²ΡΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠΈΠΉ Π² ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ
Π½ΠΎΡΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠ»ΠΎΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ
ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈΠΈΡ ΠΏΠΎΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π°Π½ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ (ΠΠΠΠ) ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠΌ Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠΈΠΉ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΡΠΎΠ»Π±ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ΠΎΠ² ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ III Π³ΡΡΠΏΠΏΡ (GaN, AIN, IhN). Π Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½Ρ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠΈΠΉ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ
Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ
ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΠΌΡΡ
ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ² ΠΈ Π³Π»ΡΠ±ΠΈΠ½Ρ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΡ
ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈ ΠΠΠΠ