2 research outputs found
Strukturbreitenmessung auf photolithographischen Masken und Wafern im Lichtmikroskop: Theorie, Einfluss der Polarisation des Lichtes und Abbildung von Strukturen im Bereich der Aufloesungsgrenze
Available from TIB Hannover: RA 3254(55) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekSIGLEDEGerman
Normale zur Absolutkalibrierung von Messgeraeten, die zur Strukturbreitenmessung im Mikron- und Submikronbereich eingesetzt werden Schlussbericht
SIGLEAvailable from TIB Hannover: FR 5941+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekDEGerman