Les capteurs électrochimiques microniques

Presently, two main factors influence the evolution of both chemical and electrochemical sensors. The first is the very strong demand in sensors from various fields of industry. The second is the intrusion of microelectronic technologies in their fabrication processes which lead to the new concept of miniaturized sensors. The advantages of such small sensors are discussed. The various technologies of miniaturization used in the fabrication of electrochemical sensors are reviewed as well as the various methods of sensitization employed to functionalize the microtransducers, especially the Field Effect Transistors (FET)

COMPORTEMENT PHOTOÉLECTROCHIMIQUE DES OXYDES SEMI-CONDUCTEURS

L'illumination d'électrodes d'oxydes semi-conducteurs de métaux-valves en contact avec une solution électrolytique provoque un effet photoélectrochimique : un courant anodique photo-induit apparaît ; il correspond à l'oxydation de l'eau en oxygène à un potentiel inférieur à celui de cette même réaction sur une électrode de platine. Cet effet photoélectrochimique correspond à une transformation de l'énergie lumineuse en énergie électrochimique. La compréhension du mécanisme de ce phénomène nécessite de considérer l'aspect énergétique du système semi-conducteur/solution électrolytique, qu'il est possible de représenter sous la forme d'un diagramme énergétique électronique.A photoelectrochemical effect is induced by illumination of the interface between valve-metal oxide semi-conductor electrodes and electrolytic solution. A photo-induced anodic current appears, corresponding to oxidation of water, at a potential lower than the one necessary for the same reaction on a platinum electrode. Devices, using this photoelectrochemical effect can be conceived allowing direct conversion of light energy into electrochemical energy. Energetic electronic diagrams are a good help in understanding such photoelectrochemical processes

Caractérisation électrique d'hétérostructures Si/Si

Des hétérostructures du type Si/Si3N4/solution électrolytique aqueuse à pH variable ont été étudiées par la méthode de mesure des impédances électrochimiques à l'aide d'un montage potentiostatique à trois électrodes.L'analyse de l'évolution de la capacité et de la conductance parallèles de telles hétérostructures, en fonction de la tension et de la fréquene des signaux appliqués, permet d'accéder aux propriétés électriques de l'isolant et de l'interface isolant/semiconducteur. La mesure du potentiel de bande plate en fonction du pH montre que la membrane de nitrure a une sensibilité nerstienne aux ions H+. Le greffage chimique de la surface du nitrure de silicium préalablement modifiée par action de l'oxygène ou de la vapeur d'eau, devrait permettre la réalisation de capteurs sensibles à d'autres ions que le proton