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    Integrierte Optik auf Silizium TEOS-Wellenleiter und Planarisierungstechniken. 2. Zwischenbericht

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    SIGLEAvailable from TIB Hannover: D.Dt.F. QN1(2,12) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekDEGerman
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