1 research outputs found
Advances in Patterning Materials for 193 nm Immersion Lithography
- Author
- Abdo A.
- Allen R. D.
- Allen R. D.
- Ando N.
- Ando T.
- Ando T.
- Ando T.
- Arima H.
- Attard P.
- Bae W. J.
- Baek S.
- Ban K.
- Ban K.
- Barclay G.
- Barclay G.
- Bassett D. W.
- Bell N. S.
- Bell N. S.
- Benschop J.
- Benson P.
- Berger C.
- Berger C. M.
- Bergstrom L.
- Bergstrom L.
- Bergstrom L.
- Blakey I.
- Blakey I.
- Blakey I.
- Blakey I.
- Blakey I.
- Blakey I.
- Blakey I.
- Bloomstein T. M.
- Bloomstein T. M.
- Bongiovanni R.
- Brainard R. L.
- Brainard R. L.
- Brandl S.
- Brandl S.
- Bremer L.
- Bruce J. A.
- Bruning J. H.
- Budhall B.
- Budhlall B.
- Budhlall B. M.
- Burnett H.
- Burnett H.
- Burnett H. B.
- Burnett J.
- Burnett J. H.
- Burnett J. H.
- Burnett J. H.
- Burnett J. H.
- Burnett J. H.
- Burnett J. H.
- Burnett J. H.
- Burnett J. H.
- Burns S.
- Capodieci L.
- Carcasi M.
- Chang C.-Y.
- Chen J.-H.
- Chen T.
- Chibana T.
- Chumanov G.
- Chumanov G.
- Clarke M. E.
- Colburn M.
- Conley W.
- Conley W.
- Conley W.
- Conley W.
- Conley W.
- Conley W.
- Conley W.
- Costner E.
- Costner E.
- Costner E.
- Costner E.
- Costner E. A.
- Costner E. A.
- Costner E. A.
- Costner E. A.
- Crawford M. K.
- Cromwijk J. W.
- Crouse M. M.
- Dammel R.
- Dammel R. R.
- Dammel R. R.
- Dammel R. R.
- Dammel R. R.
- Dammel R. R.
- Dammel R. R.
- De Bisschop P.
- de Gennes P. G.
- De Kruif C. G.
- Deegan R. D.
- Deegan R. D.
- Donders S.
- Donders S.
- El-Morsi M.
- Endo H.
- Enomoto M.
- Eon D.
- Ercken M.
- Erdmann A.
- Evans D. F.
- Fan Y.
- Fedynyshyn T. H.
- Fedynyshyn T. H.
- Feiring A. E.
- Flagello D.
- Flagello D.
- Foubert P.
- French R. H.
- French R. H.
- French R. H.
- French R. H.
- French R. H.
- French R. H.
- French R. H.
- French R. H.
- French R. H.
- French R. H.
- French R. H.
- French R. H.
- Fujii K.
- Furukawa T.
- Furukawa T.
- Furukawa T.
- Furukawa T.
- Furukawa T.
- Furukawa T.
- Fyen W.
- Gandler J. R.
- Gaugiran S.
- Geoghegan M.
- Gil D.
- Gil D.
- Gil D.
- Gil D.
- Gokan H.
- Gonsalves K. E.
- Goto K.
- Grenville A.
- Gronheid R.
- Gronheid R.
- Gronheid R.
- Hagiwara T.
- Hagiwara T.
- Hagiwara T.
- Harder P. M.
- Harder P. M.
- Harumoto M.
- Hata M.
- Hata M.
- Hata M.
- Hendrickx E.
- Herrmann H.
- Hinsberg W.
- Hinsberg W.
- Hinsberg W.
- Hinsberg W.
- Hinsberg W.
- Hinsberg W. D.
- Hoffnagle J.
- Hoffnagle J. A.
- Honda K.
- Hoskins T.
- Houlihan F.
- Houlihan F.
- Houlihan F. M.
- Houlihan F. M.
- Huang W.-S.
- Inshida N.
- Irie M.
- Irisawa J.
- Ishibashi T.
- Ishibashi T.
- Ishimaru T.
- Ishizuka K.
- Ito H.
- Ito H.
- Ito H.
- Ito H.
- Ito H.
- Ito H.
- Ito H.
- Ito H.
- Ito H.
- Ito H.
- Ito S.
- Ito T.
- Jablonski E. L.
- Jablonski E. L.
- Jahromi S.
- Jahromi S.
- Kagayama A.
- Kaimoto Y.
- Kanna S.
- Kanna S.
- Kanna S.
- Kanna S.
- Kanna S.
- Kanna S.
- Kanna S.
- Kanna S.
- Kaplan S.
- Kaplan S. G.
- Kato H.
- Kawaguchi K.
- Kawai A.
- Kawai A.
- Kawai A.
- Kawamura D.
- Kawamura D.
- Kawata H.
- Kawata H.
- Khojasteh M.
- Kim M.-S.
- Kim R.
- Kim S. S.
- Kinoshita H.
- Kishimura S.
- Kishimura S.
- Kocsis M.
- Kocsis M.
- Kocsis M.
- Kocsis M.
- Kodama S.
- Kohno H.
- Kono T.
- Kruger S.
- Kumeda T.
- Kunz R. R.
- Kunz R. R.
- Kunz R. R.
- Kunz R. R.
- Kunz R. R.
- Kunz R. R.
- Kunz R. R.
- Kushida Y.
- Kusumoti S.
- Kusumoto S.
- Lee J. W.
- Lee K.
- Lee S. H.
- Lenhart J. L.
- LeSuer R. J.
- Liang F. J.
- Liang F.-J.
- Liberman V.
- Liberman V.
- Liberman V.
- Liberman V.
- Liberman V.
- Liberman V.
- Liberman V.
- Liberman V. L.
- Lin B.
- Lin B.
- Lin B. C. R.
- Lin B. J.
- Lin B. J.
- Lin B. J.
- Lin B. J.
- Lin C. H.
- Liu H.
- Liu Z.
- Lopez-Gejo J.
- Lopez-Gejo J.
- Lopez-Gejo J.
- Lopez-Gejo J.
- Lopez-Gejo J.
- Lopez-Gejo J.
- Mabuchi T.
- MacDonald S. A.
- Mack C.
- Mack C.
- Mack C. A.
- Mack C. A.
- Macosko C. W.
- Maenhoudt M.
- Mage I.
- Malik S.
- Man N.
- Matsumoto K.
- Matsumoto K.
- Matsumura N.
- Matsunaga K.
- McCallum M.
- McIntyre G.
- Miyahara O.
- Miyamatsu T.
- Moon S.-Y.
- Morita M.
- Morita M.
- Mortini B. C. R.
- Mulkens J.
- Mulkens J.
- Mulkens J.
- Mulkens J.
- Mulkens J.
- Nafus K.
- Nagai N.
- Nakagawa H.
- Nakagawa H.
- Nakano H.
- Nakano K.
- Nakano K.
- Nakano K.
- Nakano K.
- Nakano K.
- Nakano K.
- Nakano K.
- Nakano K.
- Nalamasu O.
- Naruoka T.
- Nawata T.
- Nawata T.
- Nawata T.
- Nawata T.
- Nawata T.
- Nellis G.
- Nellis G. F.
- Niiyama T.
- Niiyama T.
- Nishimura Y.
- Niwa T.
- Niwa T.
- Ohmori K.
- Ohmori K.
- Ohmura Y.
- Ohmura Y.
- Ohmura Y.
- Ohmura Y.
- Oikawa A.
- Okoranyanwu U.
- Okoroanyanwu U.
- Okoroanyanwu U.
- Okumura H.
- Ono Y.
- Otake A.
- Otoguro A.
- Otoguro A.
- Owa S.
- Owa S.
- Owa S.
- Owa S.
- Owa S.
- Owa S.
- Owen G.
- O’Connor N. A.
- Padmanaban M.
- Padmanaban M.
- Padmanaban M.
- Parekh B.
- Parekh B.
- Parsons B. F.
- Parther
- Parthier L.
- Parthier L.
- Parthier L.
- Parthier L.
- Parthier L.
- Parthier L.
- Peng S.
- Peng S.
- Petrillo K.
- Petrillo K.
- Petrillo K.
- Petrov J. G.
- Postnikov S.
- Rathsack B. M.
- Raub A.
- Raub A. K.
- Raub A. K.
- Reichmanis E.
- Reichmanis E.
- Reichmanis E.
- Robinson C.
- Rodriguez R.
- Ronse K. C. R.
- Rothschild M.
- Sakai K.
- Sakai K.
- Sakai K.
- Samarakonev N.
- Sanders D.
- Sanders D.
- Sanders D.
- Sanders D. P.
- Sanders D. P.
- Sanders D. P.
- Sanders D. P.
- Sanders D. P.
- Sanders D. P.
- Sanders D. P.
- Santillan J.
- Santillan J.
- Sasaki K.
- Sato H.
- Sato M.
- Sato M.
- Sauer M. C.
- Schellenberg F.
- Schleisman A.
- Schuetter S.
- Schuetter S.
- Schuetter S.
- Schuetter S. D.
- Schuetter S. D.
- Schuetter S. D.
- Schwarz C.
- Scurlock R. D.
- Scurlock R. D.
- Sekiguchi A.
- Sekine Y.
- Sewell H.
- Sewell H.
- Sewell H.
- Sewell H.
- Sewell H.
- Sewell H.
- Sewell H.
- Sewell H.
- Sewell H.
- Sewell H.
- Sewell H.
- Shank C.
- Sheats J. R.
- Shedd T. A.
- Shedd T. A.
- Shedd T. A.
- Sheehan M. T.
- Shigemori K.
- Shimoaoki T.
- Shimokawa T.
- Shirota N.
- Shirota N.
- Shirota N.
- Shirota N.
- Shirota N.
- Shiu L.-H.
- Sho K.
- Sirat G. Y.
- Slep D.
- Slezak M.
- Smith B.
- Smith B.
- Smith B.
- Smith B.
- Smith B. W.
- Smith B. W.
- Smith B. W.
- Smith B. W.
- Smith B. W.
- Smith J.
- Sondi I.
- Sooriyakumaran R.
- Srinivasan R.
- Stepanenko N.
- Stepanenko N.
- Steppan H.
- Stewart M. D.
- Stix G.
- Streefkerk B.
- Streefkerk B.
- Streefkerk B.
- Streefkerk B.
- Studart A. R.
- Sundberg L. K.
- Suzuki A.
- Suzuki K.
- Switkes M.
- Switkes M.
- Switkes M.
- Switkes M.
- Switkes M.
- Switkes M.
- Switkes M.
- Switkes M.
- Switkes M.
- Switkes M.
- Switkes M.
- Takahashi K.
- Takashasi N.
- Takebe Y.
- Takebe Y.
- Takebe Y.
- Takemoto I.
- Takemoto I.
- Tanaka T.
- Tanaka T.
- Taylor J. C.
- Taylor J. C.
- Taylor J. C.
- Taylor J. C.
- Terai M.
- Thompson L. F.
- Tittnich M.
- Tomita T.
- Toriumi M.
- Toriumi M.
- Toriumi M.
- Toriumi M.
- Tran H. V.
- Tran H. V.
- Tran H. V.
- Trikeriotis M.
- Trybula W. J.
- Tsuji H.
- Tsuji H.
- Tsuji S.
- Tsuomura H.
- Tyrrell J. W. G.
- Van Peski C.
- Wada K.
- Wallraff G.
- Wallraff G. M.
- Wallraff G. M.
- Wallraff G. M.
- Wallraff G. M.
- Wallraff G. M.
- Wanat S. F.
- Wang D.
- Wang D.
- Wang S.-Z.
- Wang Y.
- Wang Y.
- Watanabe Y.
- Wei A.
- Wei A.
- Wei A.
- Wei A.
- Wei A. C.
- Wei Y.
- Wei Y.
- Wei Y.
- Wei Y.
- Wei Y.
- Wei Y.
- Whittaker A. K.
- Whittaker A. K.
- Wiesner J. C.
- Wong A. K.
- Wu B.
- Wu S.
- Wurm S.
- Yamashita T.
- Yamashita T.
- Yamashita T.
- Yamashita T.
- Yamashita T.
- Yang M. K.
- Yao T.
- Yoshida M.
- Yu S.-S.
- Yu S.-S.
- Zhou J.
- Zhou J.
- Zhou J.
- Zhou J.
- Zimmerman P. A.
- Zimmerman P. A.
- Zimmerman P. A.
- Zimmerman P. A.
- Zimmerman P. A.
- Zimmerman P. A.
- Zimmerman P. A.
- Zimmerman P. A.
- Zimmerman P. A.
- Zimmerman P. A.
- Publication venue
- 'American Chemical Society (ACS)'
- Publication date
- Field of study