The movement system for optical mechanical equipment of microelectronics

При производстве элементной базы электронных интегрированных устройств необходимо использовать генераторы формирования планарных структур, таких как установка, производимая концерном ПЛАНАР ЭМ-5109. Для расширения функциональных возможностей генераторов с учетом современных требований по защите информации возникает потребность в использовании новых исполнительных систем пространственного позиционирования объекта обработки, в качестве которых наиболее перспективными являются системы перемещений на трех планарных позиционерах. В работе рассмотрена структура многокоординатной системы перемещений для нужного позиционирования объекта, представлена структура системы управления.The production of microelectronics devices requires usage of planar structures generators, such as apparatus EM-5109 produced by concern PLANAR. For the purposes of functional abilities extension the need of new travel systems of spatial positioning rises, the most perspective are travel systems on three planar positioners. The structure of spatial system for object positioning is described in the work, the structure of control system is described as well