Effizienzsteigerung der Hochrateabscheidung optischer Funktionsschichten durch in-situ Kontrolle und Regelung. Teilprojekt: Stabilisierung reaktiver Zerstaeubungsprozesse und Gesamtregelungskonzept Abschlussbericht

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F01B1258 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekBundesministerium fuer Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie, Bonn (Germany)DEGerman