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    ๆ”ฟ็ญ–ๅŸท่กŒ์˜ ๅฝฑ้Ÿฟ่ฆๅ› ์— ้—œํ•œ ็ก็ฉถ : ์“ฐ๋ ˆ๊ธฐ์ˆ˜์ˆ˜๋ฃŒ์ข…๋Ÿ‰์ œ ์ง‘ํ–‰์‚ฌ๋ก€๋ฅผ ไธญๅฟƒ์œผ๋กœ

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    ํ•™์œ„๋…ผ๋ฌธ(์„์‚ฌ)--์„œ์šธๅคงๅญธๆ ก ่กŒๆ”ฟๅคงๅญธ้™ข :่กŒๆ”ฟๅญธ็ง‘ ๆ”ฟ็ญ–ๅญธๅฐˆๆ”ป,1996.Maste

    A study on dry etching of hard polymer cladding for optical fiber tapering

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    ํ•™์œ„๋…ผ๋ฌธ (์„์‚ฌ)-- ์„œ์šธ๋Œ€ํ•™๊ต ๋Œ€ํ•™์› : ๊ณต๊ณผ๋Œ€ํ•™ ์ „๊ธฐยท์ •๋ณด๊ณตํ•™๋ถ€, 2018. 2. ๊น€์šฉ๊ถŒ.๋ณธ ๋…ผ๋ฌธ์—์„œ๋Š” ๊ฑด์‹์‹๊ฐ๊ณผ V-groove ์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜ ๊ธฐํŒ์„ ์‚ฌ์šฉํ•˜์—ฌ ๋‹ค๋Ÿ‰์˜ ๋™์ผํ•œ ๊ธธ์ด๋ฅผ ๊ฐ€์ง€๋Š” ๊ด‘์„ฌ์œ ์˜ ํ•˜๋“œ ํด๋ฆฌ๋จธ ํด๋ž˜๋”ฉ (hard polymer cladding)์„ ์„ ํƒ์ ์ธ ๋ถ€๋ถ„๋งŒ ์ œ๊ฑฐํ•œ ํ›„, ํ…Œ์ดํผ๋ง (tapering)์„ ํ†ตํ•ด ๊ด‘์„ฌ์œ ๋“ค์„ ์ผ์ •ํ•œ ๊ฐ๋„๋ฅผ ๊ฐ–๋„๋ก ์ œ์ž‘ํ•˜์˜€๋‹ค. ๋ณธ ๋…ผ๋ฌธ์˜ ๋ชฉ์ ์€ ํ…Œ์ดํผ๋ง๋œ ๋™์ผํ•œ ๊ธธ์ด๋ฅผ ๊ฐ€์ง€๋Š” ํ•˜๋“œ ํด๋ฆฌ๋จธ ํด๋ž˜๋”ฉ ๊ด‘์„ฌ์œ ๋ฅผ ํ•œ๋ฒˆ์— ๋‹ค๋Ÿ‰์œผ๋กœ ์ œ์ž‘ํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์ด๊ณ , ์ œ์ž‘๋œ ๊ด‘์„ฌ์œ ๋“ค์€ ๊ด‘์œ ์ „ํ•™ ๋ถ„์•ผ์˜ ์‹ ๊ฒฝ ํ”„๋กœ๋ธŒ (neural probe)์—์„œ ์–ด๋ ˆ์ด ํ˜•์‹์˜ ๋„ํŒŒ๊ด€ (waveguide)์— ์‚ฌ์šฉ๋œ๋‹ค. ์ผ์ •ํ•œ ๊ธธ์ด๋กœ cleaved ๋œ ๊ด‘์„ฌ์œ ๋ฅผ V-groove ์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜ ๊ธฐํŒ ์œ„์— ์˜ฌ๋ฆฐ ํ›„, ์บกํ†ค ํ…Œ์ดํ”„๋กœ ๊ด‘์„ฌ์œ ๋ฅผ ๊ณ ์ • ๋ฐ ๋งˆ์Šคํ‚นํ•œ๋‹ค. ์‚ฐ์†Œ์™€ ์‚ฌ๋ถˆํ™”ํƒ„์†Œ๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•˜์—ฌ ํ”Œ๋ผ์ฆˆ๋งˆ RIE ๊ฑด์‹์‹๊ฐ์œผ๋กœ ํ•˜๋“œ ํด๋ฆฌ๋จธ ํด๋ž˜๋”ฉ์„ ์ œ๊ฑฐํ•œ๋‹ค. ์บกํ†ค ํ…Œ์ดํ”„๋กœ ๋งˆ์Šคํ‚น ๋˜์ง€ ์•Š์€ ๋ถ€๋ถ„๋งŒ ์„ ํƒ์ ์œผ๋กœ ํด๋ž˜๋”ฉ์ด ์ œ๊ฑฐ๋˜์—ˆ๋‹ค. ํด๋ž˜๋”ฉ์ด ์ œ๊ฑฐ๋˜์–ด ๋“œ๋Ÿฌ๋‚œ ์ฝ”์–ด๋ถ€๋ถ„๊ณผ ํด๋ž˜๋”ฉ์ด ๋‚จ์•„์žˆ๋Š” ๊ฒฝ๊ณ„๋ฉด์˜ peak-to-peak ๊ธธ์ด๋Š” ํ‰๊ท  22.75 ยตm, ํ‘œ์ค€ํŽธ์ฐจ 2.01 ยตm ๋ฅผ ๋ณด์˜€๋‹ค. ํด๋ž˜๋”ฉ์ด ์ œ๊ฑฐ๋œ ๊ด‘์„ฌ์œ ๋“ค์„ ๋ถˆ์‚ฐ์šฉ์•ก๊ณผ ์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜์˜ค์ผ์„ ์ด์šฉํ•œ ์Šต์‹์‹๊ฐ์œผ๋กœ ํ…Œ์ดํผ๋ง ๊ณต์ •์„ ์‹ค์‹œํ•˜์˜€๋‹ค. ์ž์ฒด ์ œ์ž‘๋œ ํ…Œํ”„๋ก  ์ง€๊ทธ๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•˜์—ฌ ๊ด‘์„ฌ์œ  ๋๋‹จ ๊ฐ๋„๋ฅผ ํ‰๊ท  14.29ยฐ, ํ‘œ์ค€ํŽธ์ฐจ 0.04ยฐ๋กœ ๊ฐ–๋Š” ๊ด‘์„ฌ์œ ๋ฅผ ํ•œ๋ฒˆ์— 48๊ฐœ ์ œ์ž‘ํ–ˆ๋‹ค. ์ œ์ž‘๋œ ํ…Œ์ดํผ๋ง๋œ ํ•˜๋“œ ํด๋ฆฌ๋จธ ํด๋ž˜๋”ฉ ๊ด‘์„ฌ์œ ๋กœ ์‹ ๊ฒฝ ํ”„๋กœ๋ธŒ์˜ ์‹คํ—˜์„ ์œ„ํ•œ ์™„์„ฑ๋„์™€ ๋น›์˜ ์ง‘์ ๋„๋ฅผ ๋†’์ด๋Š” 4ร—4 ๋งˆ์ดํฌ๋กœ ๋ Œ์ฆˆ ์–ด๋ ˆ์ด๋ฅผ ์ œ์ž‘ํ•˜์˜€๋‹ค. ๋ณธ ์—ฐ๊ตฌ๋ฅผ ํ†ตํ•ด์„œ ๋†’์€ ๊ฐœ๊ตฌ์ˆ˜๋ฅผ ๊ฐ€์ง€๋Š” ํ•˜๋“œ ํด๋ฆฌ๋จธ ํด๋ž˜๋”ฉ ๊ด‘์„ฌ์œ ๋ฅผ ๊ด‘์œ ์ „ํ•™์˜ ์‹ ๊ฒฝํ”„๋กœ๋ธŒ์—์„œ ๋„ํŒŒ๊ด€์œผ๋กœ์จ ์‚ฌ์šฉ ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋‹ค. ๊ฑด์‹์‹๊ฐ์œผ๋กœ ํ•˜๋“œ ํด๋ฆฌ๋จธ ํด๋ž˜๋”ฉ์„ ์„ ํƒ์ ์œผ๋กœ ํŠน์ • ๋ถ€๋ถ„๋งŒ ์ œ๊ฑฐํ•˜๋Š” ๋ฐฉ๋ฒ•์„ ์ œ์•ˆํ•˜์˜€๊ณ , ์ด๋ฅผ ํ†ตํ•ด ๋‹ค๋Ÿ‰์˜ ๊ด‘์„ฌ์œ ๋ฅผ ๋™์ผํ•œ ๊ธธ์ด๋กœ, ๋™์ผํ•œ ๊ฐ๋„๋ฅผ ๊ฐ€์ง€๊ณ  ์ œ์ž‘ ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋‹ค.1. ์„œ๋ก  1 1.1 ์—ฐ๊ตฌ์˜ ๋ฐฐ๊ฒฝ 1 1.1.1 ๊ด‘ ์œ ์ „ํ•™ 1 1.1.2 ๋ฐœ๊ด‘ ๋‹ค์ด์˜ค๋“œ-๊ด‘์„ฌ์œ  ๊ธฐ๋ฐ˜์˜ ์‹ ๊ฒฝ ํ”„๋กœ๋ธŒ 3 1.2 ์—ฐ๊ตฌ์˜ ๋™๊ธฐ 8 1.2.1 ๊ด‘์„ฌ์œ  ํ…Œ์ดํผ๋ง์˜ ๋ชฉ์  8 1.2.2 ํ•˜๋“œ ํด๋ฆฌ๋จธ ํด๋ž˜๋”ฉ ๊ด‘์„ฌ์œ  10 1.2.3 ํ•˜๋“œ ํด๋ฆฌ๋จธ ํด๋ž˜๋”ฉ ๊ด‘์„ฌ์œ ์˜ ์ œํ•œ์‚ฌํ•ญ 15 1.3 ์—ฐ๊ตฌ ๋™ํ–ฅ 17 1.4 ์—ฐ๊ตฌ ๋ชฉํ‘œ 19 2. ์„ค๊ณ„ 20 2.1 ์„ค๊ณ„ ๋ฐฐ๊ฒฝ 20 2.1.1 ํ•˜๋“œ ํด๋ฆฌ๋จธ ํด๋ž˜๋”ฉ ์„ฑ๋ถ„ 20 2.1.2 ํด๋ฆฌ๋จธ์˜ ๊ฑด์‹์‹๊ฐ 23 2.2 ํ•˜๋“œ ํด๋ฆฌ๋จธ ํด๋ž˜๋”ฉ ์ œ๊ฑฐ๋ฅผ ์œ„ํ•œ V-groove ๊ธฐํŒ 25 2.2.1 V-groove ๊ธฐํŒ ์„ค๊ณ„ 25 2.2.2 V-groove ๊ธฐํŒ ๊ณต์ • 29 3. ํ•˜๋“œ ํด๋ฆฌ๋จธ ํด๋ž˜๋”ฉ ์ œ๊ฑฐ 35 3.1 ํ•˜๋“œ ํด๋ฆฌ๋จธ ํด๋ž˜๋”ฉ ์ œ๊ฑฐ ๊ณต์ • 35 3.2 ํ•˜๋“œ ํด๋ฆฌ๋จธ ํด๋ž˜๋”ฉ ์ œ๊ฑฐ ๊ณต์ • ๊ฒฐ๊ณผ ๋ฐ ๊ณ ์ฐฐ 40 4. ํ•˜๋“œ ํด๋ฆฌ๋จธ ํด๋ž˜๋”ฉ์ด ์ œ๊ฑฐ๋œ ๊ด‘์„ฌ์œ  ํ…Œ์ดํผ๋ง 44 4.1 ๊ด‘์„ฌ์œ  ํ…Œ์ดํผ๋ง ๊ณต์ •, ๊ฒฐ๊ณผ ๋ฐ ๊ณ ์ฐฐ 44 4.2 ์ผ์ •ํ•œ ๊ฐ๋„๋ฅผ ๊ฐ€์ง€๋Š” ๊ด‘์„ฌ์œ  ํ…Œ์ดํผ๋ง ๊ฒฐ๊ณผ ๋ฐ ๊ณ ์ฐฐ 47 5. ๊ฒฐ๋ก  54 ์ฐธ๊ณ ๋ฌธํ—Œ 55 Abstract 60Maste

    The Relationship between Entrepreneurship, Strategic Orientation, and Socio-Economic Values: Focusing on companies certified as sixth industrialization enterprises

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