9 research outputs found
ๆฟ็ญๅท่ก์ ๅฝฑ้ฟ่ฆๅ ์ ้ํ ็ก็ฉถ : ์ฐ๋ ๊ธฐ์์๋ฃ์ข ๋์ ์งํ์ฌ๋ก๋ฅผ ไธญๅฟ์ผ๋ก
ํ์๋
ผ๋ฌธ(์์ฌ)--์์ธๅคงๅญธๆ ก ่กๆฟๅคงๅญธ้ข :่กๆฟๅญธ็ง ๆฟ็ญๅญธๅฐๆป,1996.Maste
A study on dry etching of hard polymer cladding for optical fiber tapering
ํ์๋
ผ๋ฌธ (์์ฌ)-- ์์ธ๋ํ๊ต ๋ํ์ : ๊ณต๊ณผ๋ํ ์ ๊ธฐยท์ ๋ณด๊ณตํ๋ถ, 2018. 2. ๊น์ฉ๊ถ.๋ณธ ๋
ผ๋ฌธ์์๋ ๊ฑด์์๊ฐ๊ณผ V-groove ์ค๋ฆฌ์ฝ ๊ธฐํ์ ์ฌ์ฉํ์ฌ ๋ค๋์ ๋์ผํ ๊ธธ์ด๋ฅผ ๊ฐ์ง๋ ๊ด์ฌ์ ์ ํ๋ ํด๋ฆฌ๋จธ ํด๋๋ฉ (hard polymer cladding)์ ์ ํ์ ์ธ ๋ถ๋ถ๋ง ์ ๊ฑฐํ ํ, ํ
์ดํผ๋ง (tapering)์ ํตํด ๊ด์ฌ์ ๋ค์ ์ผ์ ํ ๊ฐ๋๋ฅผ ๊ฐ๋๋ก ์ ์ํ์๋ค.
๋ณธ ๋
ผ๋ฌธ์ ๋ชฉ์ ์ ํ
์ดํผ๋ง๋ ๋์ผํ ๊ธธ์ด๋ฅผ ๊ฐ์ง๋ ํ๋ ํด๋ฆฌ๋จธ ํด๋๋ฉ ๊ด์ฌ์ ๋ฅผ ํ๋ฒ์ ๋ค๋์ผ๋ก ์ ์ํ๋ ๊ฒ์ด๊ณ , ์ ์๋ ๊ด์ฌ์ ๋ค์ ๊ด์ ์ ํ ๋ถ์ผ์ ์ ๊ฒฝ ํ๋ก๋ธ (neural probe)์์ ์ด๋ ์ด ํ์์ ๋ํ๊ด (waveguide)์ ์ฌ์ฉ๋๋ค.
์ผ์ ํ ๊ธธ์ด๋ก cleaved ๋ ๊ด์ฌ์ ๋ฅผ V-groove ์ค๋ฆฌ์ฝ ๊ธฐํ ์์ ์ฌ๋ฆฐ ํ, ์บกํค ํ
์ดํ๋ก ๊ด์ฌ์ ๋ฅผ ๊ณ ์ ๋ฐ ๋ง์คํนํ๋ค. ์ฐ์์ ์ฌ๋ถํํ์๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์ฌ ํ๋ผ์ฆ๋ง RIE ๊ฑด์์๊ฐ์ผ๋ก ํ๋ ํด๋ฆฌ๋จธ ํด๋๋ฉ์ ์ ๊ฑฐํ๋ค. ์บกํค ํ
์ดํ๋ก ๋ง์คํน ๋์ง ์์ ๋ถ๋ถ๋ง ์ ํ์ ์ผ๋ก ํด๋๋ฉ์ด ์ ๊ฑฐ๋์๋ค. ํด๋๋ฉ์ด ์ ๊ฑฐ๋์ด ๋๋ฌ๋ ์ฝ์ด๋ถ๋ถ๊ณผ ํด๋๋ฉ์ด ๋จ์์๋ ๊ฒฝ๊ณ๋ฉด์ peak-to-peak ๊ธธ์ด๋ ํ๊ท 22.75 ยตm, ํ์คํธ์ฐจ 2.01 ยตm ๋ฅผ ๋ณด์๋ค. ํด๋๋ฉ์ด ์ ๊ฑฐ๋ ๊ด์ฌ์ ๋ค์ ๋ถ์ฐ์ฉ์ก๊ณผ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ค์ผ์ ์ด์ฉํ ์ต์์๊ฐ์ผ๋ก ํ
์ดํผ๋ง ๊ณต์ ์ ์ค์ํ์๋ค. ์์ฒด ์ ์๋ ํ
ํ๋ก ์ง๊ทธ๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์ฌ ๊ด์ฌ์ ๋๋จ ๊ฐ๋๋ฅผ ํ๊ท 14.29ยฐ, ํ์คํธ์ฐจ 0.04ยฐ๋ก ๊ฐ๋ ๊ด์ฌ์ ๋ฅผ ํ๋ฒ์ 48๊ฐ ์ ์ํ๋ค. ์ ์๋ ํ
์ดํผ๋ง๋ ํ๋ ํด๋ฆฌ๋จธ ํด๋๋ฉ ๊ด์ฌ์ ๋ก ์ ๊ฒฝ ํ๋ก๋ธ์ ์คํ์ ์ํ ์์ฑ๋์ ๋น์ ์ง์ ๋๋ฅผ ๋์ด๋ 4ร4 ๋ง์ดํฌ๋ก ๋ ์ฆ ์ด๋ ์ด๋ฅผ ์ ์ํ์๋ค.
๋ณธ ์ฐ๊ตฌ๋ฅผ ํตํด์ ๋์ ๊ฐ๊ตฌ์๋ฅผ ๊ฐ์ง๋ ํ๋ ํด๋ฆฌ๋จธ ํด๋๋ฉ ๊ด์ฌ์ ๋ฅผ ๊ด์ ์ ํ์ ์ ๊ฒฝํ๋ก๋ธ์์ ๋ํ๊ด์ผ๋ก์จ ์ฌ์ฉ ํ ์ ์๋ค. ๊ฑด์์๊ฐ์ผ๋ก ํ๋ ํด๋ฆฌ๋จธ ํด๋๋ฉ์ ์ ํ์ ์ผ๋ก ํน์ ๋ถ๋ถ๋ง ์ ๊ฑฐํ๋ ๋ฐฉ๋ฒ์ ์ ์ํ์๊ณ , ์ด๋ฅผ ํตํด ๋ค๋์ ๊ด์ฌ์ ๋ฅผ ๋์ผํ ๊ธธ์ด๋ก, ๋์ผํ ๊ฐ๋๋ฅผ ๊ฐ์ง๊ณ ์ ์ ํ ์ ์๋ค.1. ์๋ก 1
1.1 ์ฐ๊ตฌ์ ๋ฐฐ๊ฒฝ 1
1.1.1 ๊ด ์ ์ ํ 1
1.1.2 ๋ฐ๊ด ๋ค์ด์ค๋-๊ด์ฌ์ ๊ธฐ๋ฐ์ ์ ๊ฒฝ ํ๋ก๋ธ 3
1.2 ์ฐ๊ตฌ์ ๋๊ธฐ 8
1.2.1 ๊ด์ฌ์ ํ
์ดํผ๋ง์ ๋ชฉ์ 8
1.2.2 ํ๋ ํด๋ฆฌ๋จธ ํด๋๋ฉ ๊ด์ฌ์ 10
1.2.3 ํ๋ ํด๋ฆฌ๋จธ ํด๋๋ฉ ๊ด์ฌ์ ์ ์ ํ์ฌํญ 15
1.3 ์ฐ๊ตฌ ๋ํฅ 17
1.4 ์ฐ๊ตฌ ๋ชฉํ 19
2. ์ค๊ณ 20
2.1 ์ค๊ณ ๋ฐฐ๊ฒฝ 20
2.1.1 ํ๋ ํด๋ฆฌ๋จธ ํด๋๋ฉ ์ฑ๋ถ 20
2.1.2 ํด๋ฆฌ๋จธ์ ๊ฑด์์๊ฐ 23
2.2 ํ๋ ํด๋ฆฌ๋จธ ํด๋๋ฉ ์ ๊ฑฐ๋ฅผ ์ํ V-groove ๊ธฐํ 25
2.2.1 V-groove ๊ธฐํ ์ค๊ณ 25
2.2.2 V-groove ๊ธฐํ ๊ณต์ 29
3. ํ๋ ํด๋ฆฌ๋จธ ํด๋๋ฉ ์ ๊ฑฐ 35
3.1 ํ๋ ํด๋ฆฌ๋จธ ํด๋๋ฉ ์ ๊ฑฐ ๊ณต์ 35
3.2 ํ๋ ํด๋ฆฌ๋จธ ํด๋๋ฉ ์ ๊ฑฐ ๊ณต์ ๊ฒฐ๊ณผ ๋ฐ ๊ณ ์ฐฐ 40
4. ํ๋ ํด๋ฆฌ๋จธ ํด๋๋ฉ์ด ์ ๊ฑฐ๋ ๊ด์ฌ์ ํ
์ดํผ๋ง 44
4.1 ๊ด์ฌ์ ํ
์ดํผ๋ง ๊ณต์ , ๊ฒฐ๊ณผ ๋ฐ ๊ณ ์ฐฐ 44
4.2 ์ผ์ ํ ๊ฐ๋๋ฅผ ๊ฐ์ง๋ ๊ด์ฌ์ ํ
์ดํผ๋ง ๊ฒฐ๊ณผ ๋ฐ ๊ณ ์ฐฐ 47
5. ๊ฒฐ๋ก 54
์ฐธ๊ณ ๋ฌธํ 55
Abstract 60Maste