Multi-layer package structure and fabrication methodthereof

본 발명은 반도체 공정을 이용해 제작된 금속 핀을 이용하여 다층 구조의 패키지에서 층간의 전기적 연결을 쉽게 이루기 위한 방법으로 하부 기판에 높은 높이를 갖는 금속 핀을 형성하고, 상부 기판에는 이 물질을 관통하는 비아 홀을 형성한 뒤 제작된 하층의 금속 핀을 상층의 비아 홀에 끼워 넣고 접착하여 두층 간의 전기적 연결을 이루는 것을 특징으로 한다. 이때 하부 기판에 형성되는 금속 핀은 두꺼운 PR(Photo Resist)의 패터닝과 도금 방법을 이용하여 제작하는 방법과 패터닝 된 폴리머 핀의 표면을 도금하여 형성된 폴리머 코어를 갖는 금속 핀 모두를 포함하고, 신호 선과 금속 핀과의 전기적 연결과 접착을 위해서는 솔더 또는 금을 이용한 본딩을 이용한다. 이러한 다층 기판의 전기적 연결 방법은 기존의 다층구조 패키지 방법들과 비교해 제조 공정이 간단하며, 또한 3층 이상의 칩을 적층하기 위해 하나의 기판에 금속 핀과 비아 홀을 동시에 형성하여 적층할 경우 기존의 적층된 구조물의 위치가 핀에 의해 고정되므로 추가 되는 층에 의해 정렬이 흐트러트리지 않는 안정된 패키지를 구현할 수 있다는 장점이 있다

Manufacturing Process of Passive Element with Dielectric Core

높은 단차비와 두께를 갖는 도전구조를 용이하고 저렴하게 제조할 수 있도록, 기판 위에 유전체를 이용하여 단차를 갖는 돌출되는 형상으로 코어를 형성하고, 형성된 코어의 표면에 씨드금속을 코팅하고, 도금이 되지 않아야 하는 부분에 유전체 박막으로 마스킹 패턴을 형성하고, 전기 도금을 행하고, 마스킹 패턴과 도금이 되지 않은 부분의 씨드금속을 제거하는 단계를 포함하는 유전체 코어를 갖는 수동소자 제조방법을 제공한다. 유전체, 코어, 폴리머, 금속산화물, 도금, 인덕터, 수동소자, 고주파, 단

Sodium ion storage material

본 발명은 나트륨 이온 저장재료 및 이를 포함하는 나트륨 이온 전지용 전극 재료, 해수 전지용 전극 재료, 나트륨 이온 전지용 전극, 해수 전지용 전극, 나트륨 이온 전지 및 해수전지에 관한 것으로, 구체적으로는 CuxS, FeS, FeS2, Ni3S, NbS2, SbOx, SbSx, SnS 및 SnS2 (이때, 00026#lt;x≤2)로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 물질을 포함하는 나트륨 이온 저장재료인 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 나트륨 이온 저장재료를 사용하면 높은 방전 용량을 유지할 수 있고, 2차전지인 나트륨 이온 전지에 적용할 경우 우수한 충방전 사이클 특성을 나타낼 수 있다

그래핀 액상 셀을 이용한 콜로이드 백금 나노결정체 성장의 실시간 고분해 투과 전자 현미경 관찰

학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 신소재공학과, 2012.2 ,[x, 93 p. :]Liquid phase transmission electron microscopy has solved many questions in biochemistry, materials science, environmental science, and catalysis due to the imaging capability down to nanoscale. Most of critical events, however, are still vague due to the lack of ability to study specimens in liquid with atomic resolution. We report a new and highly versatile approach to artificial layered materials synthesis which borrows concepts of molecular beam epitaxy, self-assembly, and graphite intercalation compounds. It readily yields stacks of graphene (or other two-dimensional sheets) separated by virtually any kind of “guest” species. The new material can be “sandwich like”, for which the guest species are relatively closely spaced and form a near-continuous inner layer of the sandwich, or “veil like”, where the guest species are widely separated, with each guest individually draped within a close-fitting, protective yet atomically thin graphene net or veil. The veils and sandwiches can be intermixed and used as a two-dimensional platform to control the movements and chemical interactions of guest species. We also report atomic resolution imaging of nanocrystals dynamics in Brownian-like liquid environments by using graphene liquid cell, a hermetically sealed enclosure by graphene membranes, and low-voltage aberration-corrected transmission electron microscopy. We demonstrate colloidal nanocrystal growth trajectories composed of sequential steps: correlated motion, oriented attachment, and faceting, with spatial resolution down to 0.14 nm and temporal resolution of 0.26 s. Our direct observation also provides colloidal nanocrystal diffusivity depending on their sizes down to sub-nanometre range. This ability of atom-resolved observation through liquid will provide explanations of ambiguous natural phenomena including liquid phase. Moreover, we propose three-dimensional observation of a platinum nanocrystal at atomic resolution using spontaneous nanocrystal rotation in liquid. We achieve spatial resolution down to 0.14 nm and temporal resolution of 30.5 ms.한국과학기술원 :신소재공학과

실리콘 기판 위에 성장된 ZnO 박막의 미세구조에 열처리의 영향

학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 신소재공학과, 2007.2, [ v, 95 p. ]ZnO thin films are of current interest because of their potential applications in optoelectronic devices, such as transparent conducting electrodes, gas sensors, varistors, solar cells, light-emitting diodes, and laser diodes, because they are large band-gap semiconductors with physical properties of low dielectric constants, large exiton binding energies, and excellent chemical stabilities. ZnO/Si heterostructures are of particular interest in the integration of optoelectronic devices due to the large excitonic binding energy of the ZnO thin film and the cheapness and the large size of the Si substrate. Potential applications of ZnO thin films in high-efficiency optoelectronic devices operating in the blue region of the spectrum have driven extensive efforts to grow high-quality ZnO thin films on Si substrates. However, the achievement of high-quality ZnO epilayers on Si substrates is very difficult due to the differences in the lattice constants and the thermal expansion coefficients of ZnO and Si, which deteriorate the crystal quality of the ZnO thin film and the performance of optoelectronic devices fabricated utilizing the ZnO layer. Since the optical properties of ZnO thin films are strongly affected by the microstructural properties of ZnO thin films and of ZnO/Si heterostructures, studies of such properties are necessary for fabricating high-quality optoelectronic devices utilizing ZnO/Si heterostructures. Therefore, systematic studies concerning the microstructural properties variations due to thermal treatment in ZnO thin films grown on Si substrates have been studied in this thesis. The initial formation mechanisms of the supersaturation region and the columnar grains were investigated by using X-ray diffraction pattern and transmission electron microscopy (TEM). ZnO thin films were grown on n-Si (001) substrates by using plasma-assisted molecular beam epitaxy. A cross-sectional bright-field TEM image showed that small ZnO columnar grains were embe...한국과학기술원 : 신소재공학과