Triboelectric energy harvester structure and method of fabricating the same

본 발명은 반구 형상의 양각 패턴의 돔형 어레이를 갖는 유연기판; 및 상기 유연기판의 일면 상에 형성된 금속박막; 을 포함하는 마찰대전 에너지하베스터 구조체를 제공한다

Membrane Gate FET device and mehtod of fabricating the same

본 발명의 멤브레인 게이트 FET 소자의 제조방법은 실리콘 기판에 서로 이격되어 배치된 한 쌍의 금속-실리콘 접합 영역을 형성하는 단계; 상기 실리콘 기판 상에 상기 금속-실리콘 접합 영역의 적어도 일부를 덮고 상기 한 쌍의 금속-실리콘 접합 영역 사이를 노출시킬 산화물 트렌치 패턴을 형성하는 단계; 핸들층(handle layer), 매립 산화층(Buried Oxide layer) 및 소자층(device layer)이 순차적으로 배치된 SOI(Silicon On Insulator) 웨이퍼에서 상기 소자층에 불순물을 도핑하고 열처리를 하는 단계; 상기 한 쌍의 금속-실리콘 접합 영역 사이의 상부 공간으로 진공 절연되도록 상기 산화물 트렌치 패턴과 상기 소자층을 서로 맞닿도록 배치한 후 본딩(bonding)하는 단계; 상기 본딩 후에 상기 SOI 웨이퍼에서 상기 핸들층과 상기 매립 산화층을 순차적으로 제거하는 단계; 상기 소자층을 패터닝하여 멤브레인 게이트를 형성하는 단계; 및 상기 산화물 트렌치 패턴 또는 상기 멤브레인 게이트 상에 금속 배선을 형성하는 단계;를 포함한다

semiconductor device and method of fabricating the same

본 발명은 무선주파수 손실을 감소시키면서 바디 바이어스를 인가할 수 있는 무선주파수 소자 및 그 제조방법을 제공하고자 한다.본 발명의 일측면에 의하면, 일면의 하부로 매립된 인버젼 방지층을 포함하는 반도체 기판을 제공하는 단계, 상기 인버젼 방지층의 일부를 리세스 시킨 후 상기 리세스된 공간에 제 1 절연층을 형성하는 단계, 상기 반도체 기판 내부의 상기 제 1 절연층 사이 영역에 제 2 절연층을 형성하는 단계 및 상기 제 1 또는 제 2 절연층 상부에 능동소자를 형성하는 단계를 포함하는 무선주파수 소자 제조방법이 제공된다

Combined Repeated Dose and Reproductive/Developmental Toxicities of Benzoyl Peroxide

This study was carried out to assess the combined repeated dose, reproduction anddevelopmental toxicities of benzoyl peroxide for OECD SIDS (Screening Information Data Set) pro-gram. Male and female Sprague-Dawley rats were exposed to benzoyl peroxide at dose levels of 0,250, 500 and 1,000 mg/kg/day for 29 days for males and for 41~51 days for females. No deaths werefound in all animals including control group during exposure period. No hematological effects attribut-able to benzoyl peroxide were observed in all treated groups. Significant decrease in the weight oftestes and epididymis were observed in males at 1,000 mg/kg/day. In females at 1,000 mg/kg/day,slight histopathological effects in uterus such as epithelial vacuolation or hyperplasia were observed.No treatment-related changes in precoital time and rate of copulation, fertility and gestation periodwere noted in all treated groups. There was no evidence of teratogenic effect of benzoyl peroxide, butbody weight of pups at 1,000 mg/kg/day was significantly decreased. NOAEL for combined repeateddose and reproduction/developmental toxicity was 500 mg/kg/day.N