SYSTEM AND METHOD FOR TRANSFERRING PATTERN

본 발명은 패턴 전사 시스템 및 패턴 전사 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 패턴 전사 시스템은, 그 일면 상에, 광을 흡수하여 열을 발생시키는 광열변환층 및 전사재료를 증착시킨 전사재료층이 차례로 형성된 투명 플레이트, 그 상면을 전사재료층과 간격을 두고 대향하여 위치시킨 기판, 기판의 하면에 설치되고, 진동을 발생시키는 진동 모듈을 포함하고, 진동 모듈로부터 기판으로 향하는 방향으로 진동을 전달하며, 투명 플레이트로부터 기판으로 향하는 방향으로 레이저 광을 주사하여, 전사재료를 기판의 상면으로 전사한다

PATTERN FABRICATING METHOD AND PATTERN TRANSFERRING APPARATUS

본 발명은 패턴 제조 방법 및 패턴 제조 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 간단한 공정으로 패턴을 반복적, 연속적으로 제조할 수 있는 방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 패턴 제조 방법에 의하면, 기판 상에 소수성 코팅층을 형성한 후 레이저 응용 플라즈마를 이용하여 소수성 코팅층을 선택적으로 제거하여 표면 몰드를 형성하는 제1 단계; 표면 몰드 상에, 패턴 물질을 입히고 건조시킨 후 고온 소결시켜 코팅하는 제2 단계; 표면 몰드와 대상 기판을 서로 맞대어 가압하고, 표면 몰드에서 대상 기판 방향으로 또는 대상 기판에서 표면 몰드 방향으로 레이저를 조사하는 것에 의하여 표면 몰드 상의 패턴 물질과 대상 기판이 맞대어진 부위에 발생하는 대상 기판의 점성력에 의하여 패턴 물질이 대상 기판으로 전사되는 제3 단계를 포함한다

PATTERN CLEANING METHOD AND PATTERN CLEANING DEVICE

본 발명은 패턴 클리닝 방법 및 패턴 클리닝 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 패턴 클리닝 방법은, 기판 상에 형성된 패턴을 클리닝하는 패턴 클리닝 방법이고, 패턴이 형성된 기판을 챔버 내에 위치시키고, 챔버 내에 반응 가스를 주입하는 제1 단계, 기판 상으로 소정의 포톤 에너지를 가지는 레이저 광을 주사하여, 패턴 상의 거친 표면 부위에 옵티컬 니어 필드 광해리(optical near field photo-dissociation)를 발생시켜 패턴 상의 거친 표면 부위를 제거하는 제2 단계를 포함한다

High Precision 3D Measuring System of the Large Area using Scanning Moire Pattern and the Method thereof

본 발명은 스캔방식의 모아레 패턴을 이용한 대면적의 고정밀 3차원 측정시스템 및 그 측정방법에 관한 것으로, 대상물을 일정두께의 구획평면으로 구획하고, 각 구획평면에 형성된 빔주름무늬로부터 단층이미지를 촬영하여 이를 기준빔주름무늬와 겹쳐 모아레 패턴을 얻은 다음, 이 모아레 패턴을 조합하여 3차원 이미지를 생성함으로써, 분해능이 우수하면서도 넓은 영역을 측정할 수 있는 스캔방식의 모아레 패턴을 이용한 대면적의 고정밀 3차원 측정시스템 및 그 측정방법을 제공하는데 그 목적이 있다. 이를 해결하기 위한 수단으로서 본 발명에 따르는 모아레 패턴을 이용한 3차원 측정시스템은, 레이저빔을 생성하는 빔생성부(10); 대상물(100)의 전체 크기에 형성된 가상의 격자에 대하여, 스캔방식으로 레이저빔을 연속적으로 조사하는 빔조사부(20); 빔조사부(20)에 대향되게 설치되고, 초기위치가 설정된 대상물(100)을 빔조사부(20)와 수직 방향(Z축)으로 이송시켜 주는 3축이송부(30); 빔조사부(20)로부터 미리 설정된 측정거리(F)상에서 구획된 대상물(100)의 각 구획평면(Z1~Zn)에 대하여, 레이저빔과 촛점이 맞는 격자에 형성된 빔주름무늬(P1~Pn)를 촬영하는 이미지촬영수단(40); 및 각 구획평면(Z1~Zn)에 대하여, 이미지촬영수단(40)으로부터 촬영된 빔주름무늬(P1~Pn)로부터 각각 단층이미지(SI1~SIn)을 형성하고, 각 단층이미지(SI1~SIn)와 미리 촬영된 기준빔주름무늬(SP)로부터 각각의 모아레 패턴(MP1~MPn)을 형성하며, 각 모아레 패턴(MP1~MPn)에 대한 3차원 높이지도(HM1~HMn)를 형성한 다음, 대상물(100)의 3차원 이미지(Img)를 형성하는 이미지생성수단(50);을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다

METHOD FOR FABRCRATING METAL LAYER

본 발명의 금속층 제조방법은, 기판 상에 유기금속화합물 잉크를 코팅하는 코팅단계; 상기 유기금속화합물 잉크의 유기물이 증발하기 시작하는 온도 이상이고, 상기 기판 상에 금속 코팅면이 형성되는 온도 미만인 소정온도로 상기 기판을 가열하는 가열단계; 및 상기 유기물이 모두 증발한 후 동일한 온도로 가열하여 상기 기판 상에 남은 금속입자들이 결합하여 소결되는 것에 의하여 금속층이 형성되는 금속층형성단계; 를 포함한다

PATTERN TRANSFER METHOD AND PATTERN TRANSFER SYSTEM

본 발명은 패턴 전사 방법 및 패턴 전사 시스템에 관한 것이다. 본 발명에 따른 패턴 전사 방법은, 감광유리 상에, 광원으로부터의 레이저 광을 직접 투사시킨 직사광 및 레이저 광을 반사체에 반사시킨 반사광을 함께 조사하여 소정의 폭을 가지는 제1 간섭패턴을 형성하는 제1 단계, 감광유리를 소정의 폭보다 적게 수평방향으로 이동시키고, 감광유리 상에, 직사광 및 반사광을 재조사하여 제1 간섭패턴에 일부분이 겹쳐지도록 제2 간섭패턴을 형성하는 제2 단계, 감광유리를 열처리하여 제1 및 제2 간섭패턴을 착색시키고, 착색된 제1 및 제2 간섭패턴만이 제거되도록 감광유리를 에칭하는 제3 단계, 제1 및 제2 간섭 패턴이 제거되어 있는 감광유리의 면 상에, 광을 흡수하여 열을 발생시키는 광열변환층 및 전사재료를 증착시킨 제1 전사재료층을 차례로 형성하는 제4 단계, 제1 전사재료층과 기판을 서로 맞대어 가압하고, 감광유리로부터 기판으로 향하는 방향으로 레이저 광을 주사하여 전사재료를 기판 상으로 전사하여 기판 상에 제1 패턴을 형성하는 제5 단계, 감광유리와 기판을 이격시키고, 광열변환층 상에 상기 전사재료를 재 증착시켜 제2 전사재료층을 형성하는 제6 단계, 기판을 수평방향으로 제1 패턴의 패턴간의 간격보다 적게 이동시키고, 제2 전사재료층과 기판을 서로 맞대어 가압하고, 감광유리로부터 기판으로 향하는 방향으로 레이저 광을 주사하여 전사재료를 기판 상으로 전사하여 기판 상이고, 제1 패턴의 사이에 제2 패턴을 형성하는 제7 단계를 포함한다

SETUP DEVICE

본 발명은 셋업 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 셋업 장치는, 받침부재; 그 하단이 상기 받침부재에 고정되어 있는 제1 지그바; 상기 제1 지그바의 상단에 연결되고, 그 내부에 전기 유동 유체 또는 자기 유동 유체를 수용하고 있는 하우징; 및 그 하단이 상기 하우징에 연결되는 제2 지그바를 포함하고, 상기 제2 지그바는, 전기장 또는 자기장이 걸려 있지 않은 때에는, 상기 제1 지그바에 대하여 상대 운동이 가능하나, 전기장 또는 자기장이 걸려 있는 때에는 상기 제1 지그바에 대하여 고정되며, 상기 제1 지그바의 상단 및 상기 제2 지그바의 하단은 서로 소정 간격을 두고 상기 전기 유동 유체 또는 자기 유동 유체에 각각 담겨져 있다

EXERCISING APPARATUS

본 발명은 운동장치에 관한 발명이다. 본 발명에 따른 운동장치는, 가로 프레임과, 가로 프레임의 양단에 직각으로 설치된 세로 프레임과, 가로 프레임의 중심에 대하여 대칭으로 가로 프레임 상에 설치된 브래킷을 포함하는 바닥 프레임, 그 하단이 브래킷의 구멍을 가로지르는 축 부재에 회동가능하게 끼워져 좌우방향으로 회동하는 회동바, 축 부재의 앞 뒤 각각에 끼워지고, 브래킷의 측면에 맞닿아 있는 롤러, 그 일단이 회동바의 하단 측 영역에 연결되고, 그 타단은 브래킷의 하측이고 가로 프레임의 전면에 연결되며, 롤러의, 가로 프레임의 중심으로부터 먼 외주면을 따라 가이드되어 있는 스프링을 포함하며, 의자에 앉아 다른 용무를 보면서도 다리 운동이 가능하다

METHOD FOR SHAPING PATTERN, TRANSPARENT ELECTRODE, TOUCH SCREEN, SOLAR CELL, MICRO HEATER, TRANSPARENT THIN FILM TRANSISTER, FLEXIBLE DISPLAY PANEL, FLEXIBLE SOLAR CELL, ELECTRONIC BOOK, THIN FILM TRANSISTER, ELECTROMAGNETIC-SHIELDING SHEET, FLEXIBLE PRINTED CURCUIT BOARD THEREOF

본 발명의 패턴 형성방법은, 탄소나노튜브 용액과 금속잉크와의 혼합물을 만드는 단계; 혼합물을 기판에 코팅하는 단계; 기판을 가열하여 혼합물의 점도를 레이저 조사가 용이하도록 조절하는 단계; 기판에 레이저를 조사하여, 금속잉크의 금속입자가 녹아 탄소나노튜브 용액의 탄소나노튜브를 연결하여, 소정 형상의 패턴을 선택적으로 형성하는 단계; 및 기판을 세척하는 단계;를 포함한다