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Method for manufacturing of microscale pattern array of sensor element by electrohydrodynamic printing and gas sensor array made by the same
본 발명의 일 관점에 따른 전기수력학 프린팅을 이용한 다종 금속산화물 나노소재 미세 패턴 어레이 제작방법은 센서 플랫폼을 준비하는 단계; 감지 물질로서 기능하는 하나 이상의 금속산화물 나노섬유들을 준비하는 단계; 및 상기 다종의 금속산화물 나노섬유들을 전기수력학 프린팅을 이용하여 상기 센서 플랫폼 상에 도포하는 단계;를 포함하고, 상기 도포 단계는, 상기 금속산화물 나노섬유가 분사되는 노즐을 상기 센서 플랫폼과 소정 간격을 유지한 상태로 배치하는 단계, 상기 노즐 상에 전압을 인가하는 단계, 및 수백 ㎛ 내지 수 ㎜ 간격을 두고 상기 노즐과 상기 센서 플랫폼 사이에 수 ㎸의 전압을 인가하여 상기 금속산화물 나노섬유가 토출되도록 하는 단계를 포함한다
