角度可调谐硅基氮化镓导模共振滤波器

根据严格耦合波理论和等效介质理论,研究了工作于1 3001 400nm波段的基于硅基GaN（氮化镓）亚波长光栅的导模共振滤波器。分别讨论了在强调制光栅和弱调制光栅作用下,滤波器反射谱对光栅周期和入射角度的敏感性。利用其对入射角度的敏感性,结合仿真分析设计了一种利用微机电系统静电梳齿驱动器改变光栅角度从而控制不同的共振波长输出的角度可调谐硅基GaN导模共振滤波器。仿真分析结果表明,在强调制情况下,角度可调谐范围为0.55.7!,波长可调谐范围为1 3191 352nm,FWHM（半高全宽）<2.2nm