一种亚微米压电柔性微动系统设计及性能分析

为获得精密直线运动输出，设计一种压电柔性微驱动系统，系统由压电致动器及柔性微动机构组成，在压电致动器驱动下系统具有亚微米级定位精度。基于柔性铰链导向、传动原理，设计了一种精密柔性微动机构，在此基础上提出了压电柔性微驱动系统设计方案。采用有限元法对系统进行了运动学分析、强度分析、动态分析，分析结果显示，系统具有定位精度高（最大定位误差为0.24 μm）、强度性能好、动态性能优良等优势。研究对微驱动系统研究及应用具有一定的参考价值