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BiFeO3多鐵薄膜成長在FTO基板上不同溫度變化
[[abstract]]本研究以溶膠凝膠法製備BiFeO3多鐵性薄膜,透過旋轉塗佈法將薄膜沉積在FTO基板上,並利用快速熱退火(Rapid Thermal Annealing,RTA)在大氣氛圍下作熱處理。本實驗為純相BFO薄膜沉積在FTO基板上,經不同退火溫度熱處理後的特性比較,探討BiFeO3(BFO)的特性。
本薄膜經不同退火溫度分別為 400℃ 、450℃ 、500℃ 、550℃ 。由實驗結果得知純相BFO薄膜分別沉積在FTO基板上,退火溫度為450 oC時有最佳的晶相,無二次相的產生,並且有最佳的鐵電性