Effect of growth temperature on composition control for YBCO precursor films fabricated by vapor codeposition

The promising physical properties of multi-element functional nanofilms are essentially dependent on each particular nanostructure,which could be greatly altered by the change of stoichiometry[1].The vapor deposition techniques are good at controlling the composition of deposited atoms,and theref..

Effect of humidity on microstructure and properties of YBCO films prepared by Electron Beam Coevaporation

YBCO superconducting films were prepared by Electron Beam Coevaporation method. All the YBCO films were annealed at 760&deg;C in humidity range of 2.3%&ndash;9.5%. Microstructure of the YBCO thin films was analyzed by means of X-ray diffraction (XRD) and scanning electron microscopy (SEM). Superconducting properties of the YBCO films were measured by electromagnetic induction method. XRD results showed that c-axis-oriented grains existed in the YBCO films. Morphologies of the YBCO films showed that all the films had a smooth and crack-free surface. YBCO films prepared at 7.3% humidity condition showed J c value of 4.6 MA cm&minus;2 at 77 K in self-field.</div

多电子束物理气相沉积系统

多功能薄膜制备，主要技术指标: 蒸发源最大个数：3个；真空室极限压力：4E-4Pa，基片最大加热温度：600摄氏

多源蒸发物理气相沉积系统

本发明公开了多源蒸发物理气相沉积系统，包括真空子系统、多蒸发源子系统、运动子系统和加热子系统；真空子系统包括真空室和真空获得系统，真空获得系统保证真空室内流场的均匀分布；多蒸发源子系统包括多个蒸发源，根据薄膜组分的数量，相应数量的蒸发源同时同向蒸发形成蒸气粒子流场；运动子系统实现基片在流场内的平面运动，基片表面及其运动平面垂直于蒸发面；加热子系统用于基片的加热保证表面温度分布的均匀性。采用本系统制备薄膜时，基片的运动轨迹和速度都是按照预先设定的方案进行，可获得厚度和摩尔组分比均匀分布的大面积薄膜，而且获得了性能优良的大面积高k钛酸锶薄膜，本系统适于科学研究和多组分高性能功能薄膜的产业化生产

电子束物理气相沉积中的非平衡蒸气射流输运模型

电子束物理气相沉积（EBPVD）是现代功能薄膜制备的重要方法之一，本文对EBPVD 中蒸气粒子的非平衡输运模型研究进展进行了综述。首先，对工程中广泛应用的自由分子流假设的适用范围进行了分析，指出了自由分子流假设失效的判别准则。当蒸发速率增大，自由分子流假设不再成立时，目前最有力的跨流域分析工具是直接模拟Monte Carlo（DSMC）方法，因此第二个关键问题是如何确定金属蒸气粒子的碰撞参数。再者，完成了多源蒸发大面积钇钛薄膜中三维低密度非平衡射流的DSMC 模拟，及薄膜检测结果和多种测量数据的对比。最后，针对多源EBPVD，给出了一个可以制备大面积多组分均匀薄膜的优化方案

一种快速提高真空室真空度的方法

本发明公开了一种快速提高真空室真空度的方法，在真空室内，使金属材料蒸发形成蒸气粒子，并将该金属蒸气粒子沉积于金属板表面形成新鲜金属膜，利用金属蒸气粒子及其形成的新鲜金属膜快速吸附真空室内的气体分子，并进一步生成稳定的固态物质。本发明一种快速提高真空室真空度的方法，在真空室内，采用蒸发方式，使少量活性高且稳定性好的金属材料蒸发为蒸气粒子，蒸气粒子迅速与真空室内的水蒸气、氧气、氢气等气体发生反应，生成稳定的固态物质，从而达到快速提高真空室的真空度的目的。采用本方法提高真空室的真空度，不仅费用低廉而且迅速高效

一种电子枪真空薄膜沉积系统

本发明公开了一种电子枪真空薄膜沉积系统，包括真空腔体，在所述真空腔体外侧相对于所述真空腔体水平截面的几何中心线对称设置有若干个真空泵接口。由于本发明真空泵设置于底法兰盘的边缘或真空腔体侧壁，因此真空泵的安装不影响电子枪及其它部件的安装和布置，而且真空泵接口的对称布置或周向均匀布置保证了真空腔体内流场的对称分布，这种对称流场使电子枪蒸发的气体粒子在其上方的基片表面上沉积更加均匀

电子束物理气相沉积钇钛合金薄膜的组分和厚度分布

大面积薄膜的组分和厚度分布是实际工艺中最为关心的问题之一.利用实验和直接模拟Monte Carlo(DSMC)方法,分别研究了双电子束和三电子束物理气相沉积(EBPVD)中,钇和钛蒸气原子的三维低密度、非平衡射流,获得了它们在100和150mm单晶硅基片表面的沉积厚度和组分的分布.DSMC结果与钇和钛的蒸发速率的石英晶振探头原位测量值,沉积薄膜厚度分布的台阶仪和Rutherford背散射仪的测量数据,沉积薄膜组分分布的Rutherford背散射仪和电感耦合等离子体原子发射光谱仪测量值,均相符甚好.这表明通过DSMC方法与精细测量相结合,可在原子水平上实现EBPVD输运工艺的定量预测和设计

Study of YBCO films prepared by E-beam evaporation

采用电子束沉积制备YBCO超导薄膜,研究了760℃-840℃的不同退火温度下高温热处理对YBCO薄膜双轴织构,表面形貌及超导性能的影响.超导临界电流密度测试,X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)的结果表明,退火温度在在800℃时,YBCO薄膜具有良好的织构和平整致密的表面形貌,在77K自场下的临界电流密度J可达4.2×106/cm