微电极阵列传感器

 一种微电极阵列传感器,包括：一衬底,该衬底上面的两侧分别有一第一反型区和第二反型区；一源极,制作在第一反型区内,该源极有一引出导线；一输出极,制作在第二反型区内,该输出极有一引出导线；一栅氧层,该栅氧层制作在衬底的表面,并暴露出源极和输出极；多组电极功能区,制作在栅氧层上,源极和输出极之间,该多组电极功能区均有引出导线；一绝缘层,该绝缘层覆盖于栅氧层及多组电极功能区的表面

制作立体神经微电极的方法

一种制作立体神经微电极的方法,包括以下步骤：步骤1：取一衬底；步骤2：在衬底正反面生长掩膜,并做对称图案化处理,得到微电极阵列的原始形状；步骤3：从衬底正反面同时刻蚀,将多余部分去除；步骤4：去除剩余的掩膜；步骤5：对上述步骤得到的结构,采用腐蚀的方法进行光滑和变尖处理,得到微电极阵列,该微电极阵列包括多个电极,该电极的尾端相连接；步骤6：在微电极阵列的表面生长金属层；步骤7：在微电极阵列表面的金属层上再生长绝缘层,并将连接点和记录点的绝缘层刻蚀掉