Si基热光可调谐窄带平顶滤波器

利用Si基键合技术、台阶型F-P腔结构以及Si良好的热光效应，研制了一种新型全Si基的热光调谐窄带平顶滤波器．器件的平顶宽度为2nm，3dB带宽为4．4nm，自由谱宽约为8．5nm，在外加电场作用下，共振峰红移3．3nm

随机生长误差对双腔型平顶法布里-珀罗滤波器的影响

在光网络中平顶滤波器可以有效地提高信道光检测的快速性和准确性。利用两个法布里-珀罗腔间的串联耦合，可以构建出具有半顶透射特性的双腔型法布里-珀罗滤波器。采用传输矩阵的方法，研究了随机生长误差对双腔型平顶滤波器透射特性的影响。模拟分析表明，当两个法布里-珀罗腔的物理厚度差超过一个纳米时，在透射谱中就会出现两个高度不同的透射峰；解释了实测器件的透射谱中的双峰不对称性；用界面起伏的概念解释了实测滤波器带宽大于理论值的原因。理论分析与实验结果取得了较好的一致

1.55μm MOEMS可调谐光滤波器调谐性能模拟

建立了等效单层梁模型和一维集总模型,用经典力学理论和传输矩阵方法模拟了多层材料构成且具有四臂固支梁结构的1.55μm Si基MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechnical-Systems)可调谐滤波器的调谐特性.模拟调谐系数与实验结果吻合较好