40 research outputs found

    一种P型氧化亚锡沟道薄膜晶体管的制备方法

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    本发明公开了一种p型氧化亚锡沟道薄膜晶体管的制备方法,采用电子束蒸发技术和快速热退火技术来制备p型导电的氧化亚锡沟道层。该制备方法简单可控,可实现低温制备;制得的晶体管具有较高的场效应迁移率,可用于有机发光二极管以及发展氧化物基低损耗补偿逻辑电路等,在显示器技术领域中应用前景十分广阔

    氧化亚锡多晶薄膜的制备方法

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    本发明涉及氧化亚锡多晶薄膜的制备方法。本发明利用氧化锡(SnO2)蒸发料和电子束蒸发设备,先低温制备SnOx(1<x<2)非晶薄膜,再经高温真空退火处理,获得SnO多晶薄膜。本发明制备工艺简单可控,可在石英玻璃等衬底上大面积均匀成膜,且成膜重复性好。氧化亚锡为p型导电氧化物,可用于制备氧化物基光电子及电子器件

    一种双极性氧化亚锡反相器的制备方法

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    本发明公开了一种双极性氧化亚锡反相器的制备方法,包括以下步骤:选择衬底,并进行栅介质层及输入端电极的制备,或者,选择衬底,在衬底上制备输出端电极、电源供应端电极及接地电极;采用电子束蒸发设备和氧化锡蒸发料,沉积氧化亚锡薄膜,之后进行第一次热退火处理,完成氧化亚锡沟道层的制备;制备输出端电极、电源供应端电极及接地电极,进行第二次退火处理,或者制备栅介质层及输入端电极,进行第二次退火处理,从而制备底栅结构或者顶栅结构的反相器;本发明制备方法简单可控,制备的双极性氧化亚锡反相器可同时工作在第一和第三象限,且具有较高的增益,在光电子器件、镜片、车窗、广告、医疗设备等领域中应用前景十分广阔

    薄膜晶体管及制备方法和交互式显示装置

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    本发明公开了一种薄膜晶体管及制备方法和交互式显示装置,其中,薄膜晶体管包括衬底、栅电极层、栅介质层、沟道层、源电极层和漏电极层;其中,沟道层为锌锡氮氧薄膜;锌锡氮氧薄膜的化学式为:ZnaSnbNyOz。其通过采用化学式为ZnaSnbNyOz的锌锡氮氧薄膜作为沟道层,相较于传统的铟镓锌氧薄膜晶体管来说,锌锡氮氧薄膜中的元素不包含稀有元素,这就使得薄膜晶体管的生产成本能够大大降低。并且,由于锌锡氮氧薄膜具有较高的迁移率和较窄的带隙,开启速度快且能对包括可见光波长范围内光子具有较高的光响应电流,因此其可以同时作为交互式显示装置的显示单元和光传感单元的核心元件

    p型氧化镍薄膜晶体管的微流控法制备研究

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    可以图形化和沉积同时进行的镀膜技术可有效简化器件制备流程,从而降低成本。本工作研究了一种新型的图形化沉积镀膜技术–微流控法:将宽度及间隔均为80μm、沟槽深度为2μm左右的PDMS模板与衬底贴合构筑微流通道,毛细力作用下前驱液可在微流通道内流动,并在衬底表面形成图形化的液膜,最后经热处理完成图行化的薄膜沉积。此外,分析了硝酸镍/2-甲氧基乙醇前驱体的热分解过程和不同温度退火下前驱体粉末的相结构演化规律。最终利用微流控法图形化沉积技术制备了图形化的氧化镍沟道,并构筑了薄膜晶体管器件。优化后的薄膜晶体管表现出典型的p型特征,场效应迁移率可达0.8 cm~2?V~(–1)?s~(–1)

    一种钇铝氧复合氧化物高K介质薄膜晶体管的制备方法

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    本发明公开了一种YAlO3复合氧化物高K介质薄膜晶体管的制备方法,以金属钇靶(Y)和铝靶(Al)为源材料,采用磁控溅射和快速退火技术来制备YAlO3复合氧化物高K介质作为薄膜晶体管的栅介质层材料,并且以ITO玻璃作为衬底,源、漏电极为Ti/Au双层金属膜电极,制得的薄膜晶体管可采用顶栅结构或者底栅结构;本发明的制备方法简单可控,可实现低温制备,制造成本较低;制得的薄膜晶体管性能优良,具有较小的漏电流和较大的电容,可发展成全透明薄膜晶体管,在显示器件技术领域应用前景十分广阔

    The corn of plenty

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    Pioneer Hi-bred International in Zimbabwe has developed two new maize varieties able to fight off the feared grey leaf spot disease. Tests by both smallholder and large-scale farmers show these varieties as high yielding (9 11 t/ha), suitable for local processing and needing no more fertiliser than other varieties. Chemicals and Marketing Malawi Limited is distributing them in Malawi, with demonstration sessions.Pioneer Hi-bred International in Zimbabwe has developed two new maize varieties able to fight off the feared grey leaf spot disease. Tests by both smallholder and large-scale farmers show these varieties as high yielding (9 11 t/ha), suitable for..

    一种中低温太阳能选择吸收薄膜及其制备方法

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    本发明公开了一种中低温太阳能选择吸收薄膜,该薄膜主要包括依次沉积在具有红外反射功能的衬底上的扩散阻挡层、吸收层和减反射层;或者主要包括依次沉积在衬底上的红外反射层、扩散阻挡层、吸收层和减反射层。红外反射层的成分为Cu、Mo或Ag;扩散阻挡层的成分为铬-氮复合成分;吸收层由铬单质-氧化铬多元相、铬单质-氮氧化铬多元相中的一种或两种组成;减反射层为SiO2陶瓷薄膜。该薄膜具有较高的太阳光谱吸收率以及较低的红外发射率,较好的热稳定性和耐候性,可在278℃以下的中低温大气环境中长期使用。本发明还公开了该薄膜的制备方法,采用磁控溅射方法制备,工艺简单成本低,稳定性好,适合工业大面积制备
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