基于Si/SiN<italic>_x</italic>双层波导的偏振无关光功分器

针对目前大部分偏振无关光功分器结构复杂和损耗大的问题，文章设计了一种基于Si/SiNx双层波导的偏振无关光功分器，用于1 550 nm波长光信号的1×2均匀功分。通过等离子体增强化学气相沉积（PECVD）方法调节Si/SiNx层的折射率，使同一波长下横电（TE）和横磁（TM）偏振模的二重像点位置相等，实现偏振无关功能。同时，通过对多模干涉波导宽度的合理选择，减小器件尺寸。通过优化锥形波导，进一步降低器件的插入损耗和反射损耗。运用三维（3D）有限时域差分方法进行建模仿真，仿真结果表明，文章所提偏振无关光功分器尺寸仅为3.0μm×16.8μm，插入损耗和反射损耗分别低至0.04和-48.80 dB，分光比达到了1.000 33，插入损耗小于1 dB，带宽可达380 nm，在未来的集成光路中具有潜在的应用价值