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    分子束外延材料表面椭圆缺陷的研究进展

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    综述了分子束外延材料的表面缺陷的种类、特征、起因、消除方法等,介绍了可能导致椭圆缺陷产生的重要因素,如Ga小液滴、Ga的氧化物及衬底沾污等,并提出相应的改进措施

    分子束外延技术的研究

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