微纳定位装置及其音圈电机

本实用新型提供了一种微纳定位装置及音圈电机。该音圈电机包括：底板，包括上底板与下底板；定子组件，包括轭部机构及四组Halbach阵列永磁体，轭部机构包括上部磁轭、中部磁轭及下部磁轭，上部磁轭、中部磁轭与下部磁轭共同围成上下两个气隙；每组Halbach阵列永磁体均包括至少两个径向充磁永磁体及至少两个轴向充磁永磁体，至少两个径向充磁永磁体与至少两个轴向充磁永磁体间隔设置，且径向充磁永磁体与轴向充磁永磁体沿轴向方向的宽度不相等；动子组件，安装于定子组件的两个气隙中；及支撑组件。基于双边Halbach阵列永磁体的聚磁效应与并联磁路，实现音圈电机的高精度与大推力的统一，使得音圈电机能够输出较大的推力，进而保证推力波动幅度仅为±0.21％