灰決策在自動插件機改善設計之應用

[[abstract]]振動是機械運轉時必然發生之現象，降低振動以提高精度是一項重要的問題。通常越是精密的機械，所能容許的振動量就越低，振動雖然無法避免，然而我們卻希望能有效地控制它，使其在容許的範圍之內。本研究的主要目的是針對泛用型插件機的機構作靜態與動態分析，找出造成振動的問題點，進而提出改善的方案。 在本文中提出以補強樑及補強肋的方式作為改善插件機結構的方案，根據靜動態分析的結果與實際機台的運作情況，提出三種可以互相組合達成改善的方案，再根據改善後模擬結果，利用灰色理論中的灰決策，對所提出的改善方案進行灰決策分析，找出其中較佳的方案，經過模擬結果證實改善方式確實有較佳的效果。[[sponsorship]]雲林科技大學水土資源及防災科技研究中心[[conferencetype]]國內[[conferencedate]]20011025~20011026[[booktype]]紙本[[iscallforpapers]]Y[[conferencelocation]]雲林縣, 臺

灰關聯分析在研磨加工參數最佳化之研究

[[abstract]]模真研磨加工過程中對表面粗糙度的要求很高，而對表面粗糙度影響的加工參數相當多，主要影響研磨結果的加工參數有工件材料、研磨頭直徑、研磨轉速、加工進給率及加工路徑等五項。 本研究以模具研磨加工過程中的往復式路徑為例，探討前四項參數對研磨結果的影響。先利用田口法L9 型直交表將各參數及水準配置，藉由專家之意見及效果測度中的望大、望小、望目指標處理數據再利用灰關聯分析求出模真研磨加工最佳的參數組合。最後所得到的最佳化組合結果，與田口方法所求得的最佳化組合及實驗結果相符，證實灰關聯分析法的確能快速求得最佳的加工參數組合。[[sponsorship]]雲林科技大學水土資源及防災科技研究中心[[conferencetype]]國內[[conferencedate]]20011025~20011026[[booktype]]紙本[[iscallforpapers]]Y[[conferencelocation]]雲林縣, 臺

晶圓片光阻劑塗抹厚度之灰預測研究

[[abstract]]由於晶圓在塗抹光阻劑時，利用離心力對稱之特性將光阻劑塗抹其上，這往往對我們，難以去估測出光阻劑塗抹於晶圓上的膜厚。本文藉由灰預測理論，架構起晶圓在塗抹光阻劑時之灰色模型GMO. l) .以提供當塗抹光阻劑時，時間及轉速之決策參考。實驗擷取的數撮主要是利用離心力對稱特性，得出光阻劑塗抹晶國時的膜厚。在控制時間與轉速兩因子，分別來擷取光阻劑之平均膜厚。我們將得到的數據處理成有規則性、有條理性以用來架構灰色模型，並得出一組最佳化灰預測數據，以估測出光組劑之平均膜厚的差異。[[sponsorship]]雲林科技大學水土資源及防災科技研究中心[[conferencetype]]國內[[conferencedate]]20011025~20011026[[booktype]]紙本[[iscallforpapers]]Y[[conferencelocation]]雲林縣, 臺