oaioai:elib.bsu.by:123456789/26363

ПРОЦЕСС ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ ПРИ СОЗДАНИИ СТРУКТУРЫ МЭМС-ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛЯ

Authors
Publication date
2011
Publisher

Abstract

Исследован процесс плазмохимического травления тонких пленок нитрида титана во фторуглеродной плазме. По- лучены зависимости скорости травления титана, нитрида титана и фоторезиста SP-1805 в плазме высокочастотного емкостного разряда от вкладываемой мощности и процентного содержания кислорода в смеси рабочих газов CF4+O2

Similar works

Full text

thumbnail-image

BSU Digital Library

redirect
oaioai:elib.bsu.by:123456789/2636...
Last time updated on 08/06/2016

This paper was published in BSU Digital Library.

Having an issue?

Is data on this page outdated, violates copyrights or anything else? Report the problem now and we will take corresponding actions after reviewing your request.