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Effizienzsteigerung der Hochrateabscheidung optischer Funktionsschichten durch in-situ Kontrolle und Regelung. Teilvorhaben: Technologische Umsetzung des Gesamtregelungssystems Abschlussbericht

By S. Jaeger, F.W. Nickol, F. Simon, U. Potte, R. Leuteritz, J.P. Kroog, J.C. Kuhr and Neubrandenburg (Germany) Semco Glasbeschichtung GmbH

Abstract

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F01B1731+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekBundesministerium fuer Bildung und Forschung, Berlin (Germany)DEGerman

Topics: 11B - Ceramics, refractories, glasses, ARCHITECTURE GLASS COATING, PROCESS CONTROL- AND REGULATION, OPTICAL MEASUREMENTS PROCEDURES
Year: 2001
OAI identifier:
Provided by: OpenGrey Repository
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