플라즈마 화학기상증착법에 의한 불소가 첨가된 산화막의 증착 및 특성에 관한 연구

Authors
Publication date
1 January 1997
Publisher
서울대학교 대학원

Abstract

학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :무기재료공학과,1997.Maste

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