采用旋转补偿器积分采样的椭偏成像方法和装置

Abstract

本发明涉及一种采用旋转补偿器和时间积分采样的椭偏成像方法和装置。所述方法包括如下步骤：对系统进行设置；图像传感器进行时间积分曝光；对数据进行转换、传输、处理和存储；对采集到的数据进行计算。所述装置包括：入射单元；出射单元；数据采集处理单元；数据采集处理单元通过硬触发的方式来触发出射单元获得样品的椭偏图像。本发明利用时间积分方法进行采样大幅度提高了系统的时间分辨率即减少了采样时间；采用匀速旋转相位补偿器达到了稳定的目的，能够保证操控精度