National Technical University "Kharkiv Polytechnic Institute"
Abstract
By a measuring оf surface conductivity versus temperature dependences for tin dioxide films deposited by chemical vapor deposition (CVD) we researched their gas sensitivity with the aim to develop a gas sensor of absorption- semiconductor type. Gas sensitivities of tin dioxide films at the different temperatures in the presence of various concentration of nitrogen monoxide, oxygen and nitrogen in gas mixtures as such as in the nitrogen monoxide and nitrogen dioxide mixture in the air were obtained experimentally. A temperature dependences of the tin dioxide films gas-sensitivity for an ethyl alcohol impurity the in the air (SC2H5OH = 10000ppm) and ammonia vapor in the air (SNH3 = 6600ppm) were identified . The gas sensitivity of the SnO2 films with the different concentrations of C2H5OH and NH3 vapor impurities in the air at 450oC was investigated. The temperature dependence of the recovery of the tin dioxide films electrical properties after their reaction with ethyl alcohol (SC2H5OH = 10000ppm) and ammonia (SNH3 = 6600ppm) vapors of in the air were researched.Проведны исследования газочуствительности пленок диоксида олова, полученных методом химического осаждения из паровой фазы, для создания базовых слоев газових датчиков абсорбционно-полупроводникового типа путем измерений температурных зависимостей поверхностной электропроводности. Экспериментально установлена зависимость газочувствительности пленок диоксида олова от его температуры при одновременно присутствующих в различных концентрациях газов монооксида азота и кислорода в смеси с азотом, а также при различных концентрациях монооксида азота и диоксида азота в воздухе. Идентифицирована зависимость от температуры газочувствительности пленок диоксида олова к примеси паров этилового спирта в воздухе (СC2H5OH=10000ppm) и к примеси паров аммиака в воздухе (СNH3 =6600ppm). Исследована газочувствительность пленок SnO2 при различных концентрациях примеси паров C2H5OH и NH3 в воздухе при температуре 450оC. Установлена температурная зависимость времени восстановления электрических свойств пленок после взаимодействия с парами этилового спирта (СC2H5OH=10000ppm) и аммиака (СNH3 =6600ppm) в воздухеПроведено дослідження газочутливості плівок діоксиду олова, отриманих методом хімічного осадження з парової фази, для створення базових шарів газових здавачів абсорбційно-напівпровідникового типу шляхом вимірювання температурних залежностей поверхової електропровідності. Дослідним шляхом встановлена залежність газочутливих плівок діоксиду олова від його температури при одночасно наявних в різних концентраціях газів монооксиду азоту та кисню у суміші с азотом, а також при різних концентраціях монооксиду азоту та діоксину азоту у повітрі. Ідентифіковано залежність від температури газочутливості плівок діоксиду олова до домішки парів етилового спирту у повітрі (СC2H5OH=10000ppm) та до домішки парів аміаку у повітрі (СNH3 =6600ppm). Досліджено газочутливість плівок SnO2 при різних концентраціях домішки парів C2H5OH та NH3 у повітрі при температурі 450оC. Встановлено температурну залежність часу відновлення електричних властивостей плівок після взаємодії з парами етилового спирту (СC2H5OH=10000ppm) та аміаку а (СNH3 =6600ppm) у повітрі
