Dans ce travail, nous avons réalisé un dispositif de Spray Pyrolyse Ultrasonique, pour
déposer des couches minces d’oxyde de zinc dopé Al.
Nous avons classé deux séries :
La première série: la source de dopage a été Le nitrate d'aluminium (Al (NO3)3) avec
pourcentage varie entre 0% jusqu'à 8%.
La deuxième série: la source de dopage a été Le chlorure d'aluminium (Al Cl3) avec
pourcentage varie entre 0% jusqu'à 8%.
Notons que, les autres paramètres sont fixés, tel que: la température et la concentration
d’oxyde de zinc.
L’objectif de ce travail est l’étude de l’effet de dopage sur les propriétés optiques, structurales
et électriques des couches minces d’oxyde de zinc
