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アドバンスト制御の実用化に関する研究-ウェーハハンドリングロボットへの応用－

Authors
Publication date
1 February 1994
Publisher
辻, 輝生

Abstract

九州工業大学博士学位論文　学位記番号:工博甲第52号　学位授与年月日:平成6年3月25日1.序論|2.可変構造系の制御によるサーボモータのロバストな高速位置決め|3.非干渉化制御によるDDロボットの高速・高精度位置決め|4.2自由度ウェーハハンドリングロボットへのスライディングモード制|5.結論九州工業大学平成5年

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