Procedures for testing clean room suitability of manufacturing equipment

Abstract

Bisher veröffentlichte Messungen und Vorgehensweisen zu Reinraumtauglichkeitsuntersuchungen sind meist unvollständig. In diesem Aufsatz wird eine Vorgehensweise aufgezeigt, die im weitesten Sinne die reinraumtechnischen Parameter untersucht. Dies sind neben den reinen Partikelmessungen auch Strömungsuntersuchungen. (IPA