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Deemo: a new technology for the fabrication of microstructures
Get PDFThe recent innovations in dry etching make it a promising technology for the fabrications of micromoulds. The high aspect ratios, directional freedom, low roughness, high etch rates and high selectivity with respect to the mask material allow a versatile fabrication process of micromoulds for subsequent electroplating and embossing, as is demonstrated with the DEEMO process. DEEMO is an English acronym and stands for Dry Etching, Electroplating and Moulding
Untersuchungen zum Einfluss von Waermetransportvorgaengen auf den Stroemungsverlauf und die Entmischung in der Trennduese mit molekular angestroemten Druck- und Temperatursonden
Get PDFUntersuchungen mit molekular angestroemten Sonden zum raeumlichen Verlauf der Isotopenentmischung in der Trennduese bei Rueckstau der schweren Fraktion
Get PDFBerechnung der Wert- und Entropieerzeugung in der Trennduese auf der Basis von Molekularsondenmessungen
Get PDFUntersuchung des Stroemungsverlaufs von He/Ar- und He/SF₆-Gemischen in der Trennduese mit molekular angestroemten Drucksonden
Get PDFUntersuchung zur Abformung von galvanisierbaren Mikrostrukturen mit grosser Strukturhoehe aus elektrisch isolierenden und leitfaehigen Kunststoffen
Get PDFExperimentelle Untersuchung der Uranisotopen-Trennung in einem Trennduesensystem mit gegenseitiger Umlenkung von zwei frontal aufeinander gerichteten Gasstrahlen
Get PDFUntersuchungen mit molekular angestroemten Drucksonden zum Stroemungsverlauf in einem Trennduesensystem mit Nachtrennung der schweren Fraktion durch eine zusaetzliche mechanische Strahlumlenkung
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Berechnung der Uranisotopenentmischung in der Trennduese bei kleinen UF₆-Molenbruechen im Zusatzgas
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