32 research outputs found

    Internet of Things (IoT) - Ecosystem and Indoor Climate Dashboard for Visualization in Domestic Homes

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    Internet of Things (IoT) has become a ubiquitous ”thing” that we are not aware of. It fits right into daily life as we do our chores, making it simpler without us knowing it in the background. IoT is a ”thing” that digitalizes everyday objects and generates a huge amount of data at our disposal. If the data are not handled with analytics or visualization to give meaningful insights it can be wasted. Design theory is a cornerstone in the process of designing a good dashboard. This thesis aims to validate the current design theory by applying it to a dashboard using an IoT ecosystem as its data source. This was done through iterative prototyping and user testing. The results show that some design theory elements are prevalent, while others are not so important. Having the human-in-the-loop approach and design theory combined is a necessity for creating good design. The final prototype reflects the results of the user testing and can be seen as an indicator of good design

    Big data analytics for intra-logistics process planning in the automotive sector

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    The manufacturing sector is facing an important stage with Industry 4.0. This paradigm shift impulses companies to embrace innovative technologies and to pursuit near-zero fault, near real-time reactivity, better traceability, and more predictability, while working to achieve cheaper product customization. The scenario presented addresses multiple intra-logistic processes of the automotive factory Volkswagen Autoeuropa, where different situations need to be addressed. The main obstacle is the absence of harmonized and integrated data flows between all stages of the intra-logistic process which leads to inefficiencies. The existence of data silos is heavily contributing to this situation, which makes the planning of intra-logistics processes a challenge. The objective of the work presented here, is to integrate big data and machine learning technologies over data generated by the several manufacturing systems present, and thus support the management and optimisation of warehouse, parts transportation, sequencing and point-of-fit areas. This will support the creation of a digital twin of the intra-logistics processes. Still, the end goal is to employ deep learning techniques to achieve predictive capabilities, all together with simulation, in order to optimize processes planning and equipment efficiency. The work presented on this thesis, is aligned with the European project BOOST 4.0, with the objective to drive big data technologies in manufacturing domain, focusing on the automotive use-case

    Aika-digitaalimuunnin laajakaistaisiin aikapohjaisiin analogia-digitaalimuuntimiin

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    Modern deeply scaled semiconductor processes make the design of voltage-domain circuits increasingly challenging. On the contrary, the area and power consumption of digital circuits are improving with every new process node. Consequently, digital solutions are designed in place of their purely analog counterparts in applications such as analog-to-digital (A/D) conversion. Time-based analog-to-digital converters (ADC) employ digital-intensive architectures by processing analog quantities in time-domain. The quantization step of the time-based A/D-conversion is carried out by a time-to-digital converter (TDC). A free-running ring oscillator -based TDC design is presented for use in wideband time-based ADCs. The proposed architecture aims to maximize time resolution and full-scale range, and to achieve error resilient conversion performance with minimized power and area consumptions. The time resolution is maximized by employing a high-frequency multipath ring oscillator, and the full-scale range is extended using a high-speed gray counter. The error resilience is achieved by custom sense-amplifier -based sampling flip-flops, gray coded counter and a digital error correction algorithm for counter sampling error correction. The implemented design achieves up to 9-bit effective resolution at 250 MS/s with 4.3 milliwatt power consumption.Modernien puolijohdeteknologioiden skaalautumisen seurauksena jÀnnitetason piirien suunnittelu tulee entistÀ haasteellisemmaksi. Toisaalta digitaalisten piirirakenteiden pinta-ala sekÀ tehonkulutus pienenevÀt prosessikehityksen myötÀ. TÀstÀ syystÀ digitaalisia ratkaisuja suunnitellaan vastaavien puhtaasti analogisien rakenteiden tilalle. Analogia-digitaalimuunnos (A/D-muunnos) voidaan toteuttaa jÀnnitetason sijaan aikatasossa kÀyttÀmÀllÀ aikapohjaisia A/D-muuntimia, jotka ovat rakenteeltaan pÀÀosin digitaalisia. Kvantisointivaihe aikapohjaisessa A/D-muuntimessa toteutetaan aika-digitaalimuuntimella. Työ esittelee vapaasti oskilloivaan silmukkaoskillaattoriin perustuvan aika-digitaalimuuntimen, joka on suunniteltu kÀytettÀvÀksi laajakaistaisessa aikapohjaisessa A/D-muuntimessa. Esitelty rakenne pyrkii maksimoimaan muuntimen aikaresoluution sekÀ muunnosalueen, sekÀ saavuttamaan virhesietoisen muunnostoiminnan minimoidulla tehon sekÀ pinta-alan kulutuksella. Aikaresoluutio on maksimoitu hyödyntÀmÀllÀ suuritaajuista monipolkuista silmukkaoskillaattoria, ja muunnosalue on maksimoitu nopealla Gray-koodi -laskuripiirillÀ. Muunnosprosessin virhesietoisuus on saavutettu toteuttamalla nÀytteistys herkillÀ kiikkuelementeillÀ, hyödyntÀmÀllÀ Gray-koodattua laskuria, sekÀ jÀlkiprosessoimalla laskurin nÀytteistetyt arvot virheenkorjausalgoritmilla. Esitelty muunnintoteutus saavuttaa 9 bitin efektiivisen resoluution 250 MS/s nÀytetaajuudella ja 4.3 milliwatin tehonkulutuksella

    The Missouri Miner, February 03, 1988

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    https://scholarsmine.mst.edu/missouri_miner/3478/thumbnail.jp

    Degradation Models and Optimizations for CMOS Circuits

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    Die GewĂ€hrleistung der ZuverlĂ€ssigkeit von CMOS-Schaltungen ist derzeit eines der grĂ¶ĂŸten Herausforderungen beim Chip- und Schaltungsentwurf. Mit dem Ende der Dennard-Skalierung erhöht jede neue Generation der Halbleitertechnologie die elektrischen Felder innerhalb der Transistoren. Dieses stĂ€rkere elektrische Feld stimuliert die DegradationsphĂ€nomene (Alterung der Transistoren, Selbsterhitzung, Rauschen, usw.), was zu einer immer stĂ€rkeren Degradation (Verschlechterung) der Transistoren fĂŒhrt. Daher erleiden die Transistoren in jeder neuen Technologiegeneration immer stĂ€rkere Verschlechterungen ihrer elektrischen Parameter. Um die FunktionalitĂ€t und ZuverlĂ€ssigkeit der Schaltung zu wahren, wird es daher unerlĂ€sslich, die Auswirkungen der geschwĂ€chten Transistoren auf die Schaltung prĂ€zise zu bestimmen. Die beiden wichtigsten Auswirkungen der Verschlechterungen sind ein verlangsamtes Schalten, sowie eine erhöhte Leistungsaufnahme der Schaltung. Bleiben diese Auswirkungen unberĂŒcksichtigt, kann die verlangsamte Schaltgeschwindigkeit zu Timing-Verletzungen fĂŒhren (d.h. die Schaltung kann die Berechnung nicht rechtzeitig vor Beginn der nĂ€chsten Operation abschließen) und die FunktionalitĂ€t der Schaltung beeintrĂ€chtigen (fehlerhafte Ausgabe, verfĂ€lschte Daten, usw.). Um diesen Verschlechterungen der Transistorparameter im Laufe der Zeit Rechnung zu tragen, werden Sicherheitstoleranzen eingefĂŒhrt. So wird beispielsweise die Taktperiode der Schaltung kĂŒnstlich verlĂ€ngert, um ein langsameres Schaltverhalten zu tolerieren und somit Fehler zu vermeiden. Dies geht jedoch auf Kosten der Performanz, da eine lĂ€ngere Taktperiode eine niedrigere Taktfrequenz bedeutet. Die Ermittlung der richtigen Sicherheitstoleranz ist entscheidend. Wird die Sicherheitstoleranz zu klein bestimmt, fĂŒhrt dies in der Schaltung zu Fehlern, eine zu große Toleranz fĂŒhrt zu unnötigen Performanzseinbußen. Derzeit verlĂ€sst sich die Industrie bei der ZuverlĂ€ssigkeitsbestimmung auf den schlimmstmöglichen Fall (maximal gealterter Schaltkreis, maximale Betriebstemperatur bei minimaler Spannung, ungĂŒnstigste Fertigung, etc.). Diese Annahme des schlimmsten Falls garantiert, dass der Chip (oder integrierte Schaltung) unter allen auftretenden Betriebsbedingungen funktionsfĂ€hig bleibt. DarĂŒber hinaus ermöglicht die Betrachtung des schlimmsten Falles viele Vereinfachungen. Zum Beispiel muss die eigentliche Betriebstemperatur nicht bestimmt werden, sondern es kann einfach die schlimmstmögliche (sehr hohe) Betriebstemperatur angenommen werden. Leider lĂ€sst sich diese etablierte Praxis der BerĂŒcksichtigung des schlimmsten Falls (experimentell oder simulationsbasiert) nicht mehr aufrechterhalten. Diese BerĂŒcksichtigung bedingt solch harsche Betriebsbedingungen (maximale Temperatur, etc.) und Anforderungen (z.B. 25 Jahre Betrieb), dass die Transistoren unter den immer stĂ€rkeren elektrischen Felder enorme Verschlechterungen erleiden. Denn durch die Kombination an hoher Temperatur, Spannung und den steigenden elektrischen Feldern bei jeder Generation, nehmen die DegradationphĂ€nomene stetig zu. Das bedeutet, dass die unter dem schlimmsten Fall bestimmte Sicherheitstoleranz enorm pessimistisch ist und somit deutlich zu hoch ausfĂ€llt. Dieses Maß an Pessimismus fĂŒhrt zu erheblichen Performanzseinbußen, die unnötig und demnach vermeidbar sind. WĂ€hrend beispielsweise militĂ€rische Schaltungen 25 Jahre lang unter harschen Bedingungen arbeiten mĂŒssen, wird Unterhaltungselektronik bei niedrigeren Temperaturen betrieben und muss ihre FunktionalitĂ€t nur fĂŒr die Dauer der zweijĂ€hrigen Garantie aufrechterhalten. FĂŒr letzteres können die Sicherheitstoleranzen also deutlich kleiner ausfallen, um die Performanz deutlich zu erhöhen, die zuvor im Namen der ZuverlĂ€ssigkeit aufgegeben wurde. Diese Arbeit zielt darauf ab, maßgeschneiderte Sicherheitstoleranzen fĂŒr die einzelnen Anwendungsszenarien einer Schaltung bereitzustellen. FĂŒr fordernde Umgebungen wie Weltraumanwendungen (wo eine Reparatur unmöglich ist) ist weiterhin der schlimmstmögliche Fall relevant. In den meisten Anwendungen, herrschen weniger harsche Betriebssbedingungen (z.B. sorgen KĂŒhlsysteme fĂŒr niedrigere Temperaturen). Hier können Sicherheitstoleranzen maßgeschneidert und anwendungsspezifisch bestimmt werden, sodass Verschlechterungen exakt toleriert werden können und somit die ZuverlĂ€ssigkeit zu minimalen Kosten (Performanz, etc.) gewahrt wird. Leider sind die derzeitigen Standardentwurfswerkzeuge fĂŒr diese anwendungsspezifische Bestimmung der Sicherheitstoleranz nicht gut gerĂŒstet. Diese Arbeit zielt darauf ab, Standardentwurfswerkzeuge in die Lage zu versetzen, diesen Bedarf an ZuverlĂ€ssigkeitsbestimmungen fĂŒr beliebige Schaltungen unter beliebigen Betriebsbedingungen zu erfĂŒllen. Zu diesem Zweck stellen wir unsere ForschungsbeitrĂ€ge als vier Schritte auf dem Weg zu anwendungsspezifischen Sicherheitstoleranzen vor: Schritt 1 verbessert die Modellierung der DegradationsphĂ€nomene (Transistor-Alterung, -Selbsterhitzung, -Rauschen, etc.). Das Ziel von Schritt 1 ist es, ein umfassendes, einheitliches Modell fĂŒr die DegradationsphĂ€nomene zu erstellen. Durch die Verwendung von materialwissenschaftlichen Defektmodellierungen werden die zugrundeliegenden physikalischen Prozesse der DegradationsphĂ€nomena modelliert, um ihre Wechselwirkungen zu berĂŒcksichtigen (z.B. PhĂ€nomen A kann PhĂ€nomen B beschleunigen) und ein einheitliches Modell fĂŒr die simultane Modellierung verschiedener PhĂ€nomene zu erzeugen. Weiterhin werden die jĂŒngst entdeckten PhĂ€nomene ebenfalls modelliert und berĂŒcksichtigt. In Summe, erlaubt dies eine genaue Degradationsmodellierung von Transistoren unter gleichzeitiger BerĂŒcksichtigung aller essenziellen PhĂ€nomene. Schritt 2 beschleunigt diese Degradationsmodelle von mehreren Minuten pro Transistor (Modelle der Physiker zielen auf Genauigkeit statt Performanz) auf wenige Millisekunden pro Transistor. Die ForschungsbeitrĂ€ge dieser Dissertation beschleunigen die Modelle um ein Vielfaches, indem sie zuerst die Berechnungen so weit wie möglich vereinfachen (z.B. sind nur die Spitzenwerte der Degradation erforderlich und nicht alle Werte ĂŒber einem zeitlichen Verlauf) und anschließend die ParallelitĂ€t heutiger Computerhardware nutzen. Beide AnsĂ€tze erhöhen die Auswertungsgeschwindigkeit, ohne die Genauigkeit der Berechnung zu beeinflussen. In Schritt 3 werden diese beschleunigte Degradationsmodelle in die Standardwerkzeuge integriert. Die Standardwerkzeuge berĂŒcksichtigen derzeit nur die bestmöglichen, typischen und schlechtestmöglichen Standardzellen (digital) oder Transistoren (analog). Diese drei Typen von Zellen/Transistoren werden von der Foundry (Halbleiterhersteller) aufwendig experimentell bestimmt. Da nur diese drei Typen bestimmt werden, nehmen die Werkzeuge keine ZuverlĂ€ssigkeitsbestimmung fĂŒr eine spezifische Anwendung (Temperatur, Spannung, AktivitĂ€t) vor. Simulationen mit Degradationsmodellen ermöglichen eine Bestimmung fĂŒr spezifische Anwendungen, jedoch muss diese FĂ€higkeit erst integriert werden. Diese Integration ist eines der BeitrĂ€ge dieser Dissertation. Schritt 4 beschleunigt die Standardwerkzeuge. Digitale SchaltungsentwĂŒrfe, die nicht auf Standardzellen basieren, sowie komplexe analoge Schaltungen können derzeit nicht mit analogen Schaltungssimulatoren ausgewertet werden. Ihre Performanz reicht fĂŒr solch umfangreiche Simulationen nicht aus. Diese Dissertation stellt Techniken vor, um diese Werkzeuge zu beschleunigen und somit diese umfangreichen Schaltungen simulieren zu können. Diese ForschungsbeitrĂ€ge, die sich jeweils ĂŒber mehrere Veröffentlichungen erstrecken, ermöglichen es Standardwerkzeugen, die Sicherheitstoleranz fĂŒr kundenspezifische Anwendungsszenarien zu bestimmen. FĂŒr eine gegebene Schaltungslebensdauer, Temperatur, Spannung und AktivitĂ€t (Schaltverhalten durch Software-Applikationen) können die Auswirkungen der Transistordegradation ausgewertet werden und somit die erforderliche (weder unter- noch ĂŒberschĂ€tzte) Sicherheitstoleranz bestimmt werden. Diese anwendungsspezifische Sicherheitstoleranz, garantiert die ZuverlĂ€ssigkeit und FunktionalitĂ€t der Schaltung fĂŒr genau diese Anwendung bei minimalen Performanzeinbußen

    A Ringamp-Assisted, Output Capacitor-less Analog CMOS Low-Dropout Voltage Regulator

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    Continued advancements in state-of-the-art integrated circuits have furthered trends toward higher computational performance and increased functionality within smaller circuit area footprints, all while improving power efficiencies to meet the demands of mobile and battery-powered applications. A significant portion of these advancements have been enabled by continued scaling of CMOS technology into smaller process node sizes, facilitating faster digital systems and power optimized computation. However, this scaling has degraded classic analog amplifying circuit structures with reduced voltage headroom and lower device output resistance; and thus, lower available intrinsic gain. This work investigates these trends and their impact for fine-grain Low-Dropout (LDO) Voltage Regulators, leading to a presented design methodology and implementation of a state-of-the-art Ringamp-Assisted, Output Capacitor-less Analog CMOS LDO Voltage Regulator capable of both power scaling and process node scaling for general SoC applications

    Use of particulate material for the formulation of diagnostic products

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    Diagnosis is the medical act that identifies the signs and the symptoms of an illness. It is an unavoidable step before the prescription of any medical treatment. Over the last decades, the increasing desire of more precise diagnosis, led to the emergence of new tools: the diagnostic products. These products are used to identify and monitor the cause of disorders to facilitate and specify the diagnosis, and thus, allow an adaptation of the medical treatment. Diagnostic products can be imaging probes, labels for immunoassays, reagents, contrast agents, or radiopharmaceutical products. As a part of diagnostic products, companion diagnostics are specific of a treatment and are mostly used in cancer therapies. They help determining if the patient would profit from a medication, depending on his genotype and possible genetic mutations. Phenotyping cocktails are diagnostic products that are used in phenotyping to obtain additional information, considering the effect of external environmental factors which can also influence the response to a treatment. Diagnostic products permit the personalization of medicine, by adapting the medications to the patient, optimize the treatment, and reduce potential side effects. Despite their great benefit, only a few diagnostic products are developed, limiting the possibility to improve diagnosis and therapeutics. In this manuscript, we present 2 diagnostic products formulated with nanoparticulate and microparticulate material. The first formulation consists in “polymersomes containing quantum dots (QDs) for cellular imaging”. These polymeric vesicles have the capacity to encapsulate highly fluorescent probes like QDs to prevent the toxic effect of the latter without altering their imaging properties. The second diagnostic product is the “CombiCap, a novel drug formulation for the Basel phenotyping cocktail”. This unique formulation is equivalent to the 6 dosage forms composing the Basel cocktail and presents many advantages that facilitate its diagnostic use. Both formulated products are intended for diagnostic purposes. They are safe, reliable, specific, customizable, easy to formulate and easy to use. They bring precise information on the health status of the patient in order to give a better diagnosis, to adapt the medical treatment and to monitor the therapeutic response. The interest for individualized therapies is growing, and therefore, the development of new diagnostic products needs to increase. In the future, the personalization of diagnosis and therapeutics will be a common medical practice

    Development of MEMS Piezoelectric Vibration Energy Harvesters with Wafer-Level Integrated Tungsten Proof-Mass for Ultra Low Power Autonomous Wireless Sensors

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    La gĂ©nĂ©ration d’énergie localisĂ©e et Ă  petite Ă©chelle, par transformation de l’énergie vibratoire disponible dans l’environnement, est une solution attrayante pour amĂ©liorer l’autonomie de certains noeuds de capteurs sans-fil pour l’Internet des objets (IoT). GrĂące Ă  des microdispositifs inertiels rĂ©sonants piĂ©zoĂ©lectriques, il est possible de transformer l’énergie mĂ©canique en Ă©lectricitĂ©. Cette thĂšse prĂ©sente une Ă©tude exhaustive de cette technologie et propose un procĂ©dĂ© pour fabriquer des microgĂ©nĂ©rateurs MEMS offrant des performances surpassant l’état de l’art. On prĂ©sente d’abord une revue complĂšte des limites physiques et technologiques pour identifier le meilleur chemin d’amĂ©lioration. En Ă©valuant les approches proposĂ©es dans la littĂ©rature (gĂ©omĂ©trie, architecture, matĂ©riaux, circuits, etc.), nous suggĂ©rons des mĂ©triques pour comparer l’état de l’art. Ces analyses dĂ©montrent que la limite fondamentale est l’énergie absorbĂ©e par le dispositif, car plusieurs des solutions existantes rĂ©pondent dĂ©jĂ  aux autres limites. Pour un gĂ©nĂ©rateur linĂ©aire rĂ©sonant, l’absorption d’énergie dĂ©pend donc des vibrations disponibles, mais aussi de la masse du dispositif et de son facteur de qualitĂ©. Pour orienter la conception de prototypes, nous avons rĂ©alisĂ© une Ă©tude sur le potentiel des capteurs autonomes dans une automobile. Nous avons Ă©valuĂ© une liste des capteurs prĂ©sents sur un vĂ©hicule pour leur compatibilitĂ© avec cette technologie. Nos mesures de vibrations sur un vĂ©hicule en marche aux emplacements retenus rĂ©vĂšlent que l’énergie disponible pour un dispositif linĂ©aire rĂ©sonant MEMS se situe entre 30 Ă  150 Hz. Celui-ci pourrait produire autour de 1 Ă  10 ÎŒW par gramme. Pour limiter la taille d’un gĂ©nĂ©rateur MEMS pouvant produire 10 ÎŒW, il faut une densitĂ© supĂ©rieure Ă  celle du silicium, ce qui motive l’intĂ©gration du tungstĂšne. L’effet du tungstĂšne sur la sensibilitĂ© du dispositif est Ă©vident, mais nous dĂ©montrons Ă©galement que l’usage de ce matĂ©riau permet de rĂ©duire l’impact de l’amortissement fluidique sur le facteur de qualitĂ© mĂ©canique Qm. En fait, lorsque l’amortissement fluidique domine, ce changement peut amĂ©liorer Qm d’un ordre de grandeur, passant de 103 Ă  104 dans l’air ambiant. Par consĂ©quent, le rendement du dispositif est amĂ©liorĂ© sans utiliser un boĂźtier sous vide. Nous proposons ensuite un procĂ©dĂ© de fabrication qui intĂšgre au niveau de la tranche des masses de tungstĂšne de 500 ÎŒm d’épais. Ce procĂ©dĂ© utilise des approches de collage de tranches et de gravure humide du mĂ©tal en deux Ă©tapes. Nous prĂ©sentons chaque bloc de fabrication rĂ©alisĂ© pour dĂ©montrer la faisabilitĂ© du procĂ©dĂ©, lequel a permis de fabriquer plusieurs prototypes. Ces dispositifs ont Ă©tĂ© testĂ©s en laboratoire, certains dĂ©montrant des performances records en terme de densitĂ© de puissance normalisĂ©e. Notre meilleur design se dĂ©marque par une mĂ©trique de 2.5 mW-s-1/(mm3(m/s2)2), soit le meilleur rĂ©sultat rĂ©pertoriĂ© dans l’état de l’art. Avec un volume de 3.5 mm3, il opĂšre Ă  552.7 Hz et produit 2.7 ÎŒW Ă  1.6 V RMS Ă  partir d’une accĂ©lĂ©ration de 1 m/s2. Ces rĂ©sultats dĂ©montrent que l’intĂ©gration du tungstĂšne dans les microgĂ©nĂ©rateurs MEMS est trĂšs avantageuse et permet de s’approcher davantage des requis des applications rĂ©elles.Small scale and localized power generation, using vibration energy harvesting, is considered as an attractive solution to enhance the autonomy of some wireless sensor nodes used in the Internet of Things (IoT). Conversion of the ambient mechanical energy into electricity is most often done through inertial resonant piezoelectric microdevices. This thesis presents an extensive study of this technology and proposes a process to fabricate MEMS microgenerators with record performances compared to the state of the art. We first present a complete review of the physical and technological limits of this technology to asses the best path of improvement. Reported approaches (geometries, architectures, materials, circuits) are evaluated and figures of merit are proposed to compare the state of the art. These analyses show that the fundamental limit is the absorbed energy, as most proposals to date partially address the other limits. The absorbed energy depends on the level of vibrations available, but also on the mass of the device and its quality factor for a linear resonant generator. To guide design of prototypes, we conducted a study on the potential of autonomous sensors in vehicles. A survey of sensors present on a car was realized to estimate their compatibility with energy harvesting technologies. Vibration measurements done on a running vehicle at relevant locations showed that the energy available for MEMS devices is mostly located in a frequency range of 30 to 150 Hz and could generate power in the range of 1-10 ÎŒW per gram from a linear resonator. To limit the size of a MEMS generator capable of producing 10 ÎŒW, a higher mass density compared to silicon is needed, which motivates the development of a process that incorporates tungsten. Although the effect of tungsten on the device sensitivity is well known, we also demonstrate that it reduces the impact of the fluidic damping on the mechanical quality factor Qm. If fluidic damping is dominant, switching to tungsten can improve Qm by an order of magnitude, going from 103 to 104 in ambient air. As a result, the device efficiency is improved despite the lack of a vacuum package. We then propose a fabrication process flow to integrate 500 ÎŒm thick tungsten masses at the wafer level. This process combines wafer bonding with a 2-step wet metal etching approach. We present each of the fabrication nodes realized to demonstrate the feasibility of the process, which led to the fabrication of several prototypes. These devices are tested in the lab, with some designs demonstrating record breaking performances in term of normalized power density. Our best design is noteworthy for its figure of merit that is around 2.5 mW-s-1/(mm3(m/s2)2), which is the best reported in the state of the art. With a volume of 3.5 mm3, it operates at 552.7 Hz and produces 2.7 ÎŒW at 1.6 V RMS from an acceleration of 1 m/s2. These results therefore show that tungsten integration in MEMS microgenerators is very advantageous, allowing to reduce the gap with needs of current applications

    Broadband Permittivity Characterization of Tunable Dielectric Thin Films for Millimeter-wave Devices

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    The use of millimeter-wave carrier frequencies has the potential to revolutionize wireless telecommunications by providing a massive increase in available bandwidth. However, millimeter-wave communications are hindered by poor atmospheric and building penetration, and require complicated RF front-end architectures. Tunable dielectric thin films offer a fast, compact, and cost-effective way to overcome many of the challenges facing the use of millimeter-wave spectrum. Few materials have been characterized in the millimeter-wave regime where measurements become increasingly challenging as test signal wavelengths approach the physical size of devices. The few tunable dielectric materials that have been studied at these frequencies suffered from high dielectric loss or other limitations. In this dissertation, we address both the measurement and materials challenges that have limited the commercial implementation of tunable millimeter-wave devices. In this work, we describe our implementation of a unified on-wafer approach to measure the relative permittivity of thin films and substrates across a continuous frequency band from 100 Hz to 110 GHz. We achieve this ultra-wide bandwidth by combining electrical measurements of on-wafer planar capacitors and transmission lines, and use finite-element simulations to connect our electrical measurements to material properties. Motivated by the need for better tunable dielectrics, we also developed a high throughput technique to accelerate the discovery of tunable dielectric thin films. We discuss this technique, which is inspired by the principles of combinatorial materials science and the “Materials Genome Initiative”. Our technique enables the characterization of many unique material compositions using a single 10 mm composition-spread thin film chip. In addition to speeding up the synthesis, fabrication, and measurement steps, the single-sample nature of this approach provides extreme consistency in the processing variables that impact dielectric properties. Finally, we present another approach to tunable dielectric materials discovery with our development of (SrTiO3)n−1(BaTiO3)1SrO thin films incorporating “targeted chemical pressure”. These atomically-precise, strain-engineered superlattices achieve unparalleled performance, with measured relative tunability of almost 50 % and low dielectric loss even beyond 100 GHz. We discuss our use of the materials-by-design approach, which incorporates collaboration between theory, synthesis, and characterization, to overcome barriers to commercial integration without sacrificing advantageous material properties
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