Verfahren zur Erzeugung einer mikromechanischen Struktur

Abstract

(A1) Bei einem Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Struktur wird zunaechst eine zweidimensionale Struktur in einem Substrat ausgebildet. Die zweidimensionale Struktur wird aus der Substratebene durch Krafteinwirkung ausgelenkt und in dem ausgelenkten Zustand fixiert

Similar works

Full text

thumbnail-image

Fraunhofer-ePrints

Full text is not available
oai:fraunhofer.de:N-86169Last time updated on 11/15/2016

This paper was published in Fraunhofer-ePrints.

Having an issue?

Is data on this page outdated, violates copyrights or anything else? Report the problem now and we will take corresponding actions after reviewing your request.