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Neue Produktionstechnik für leitfähige Schichten auf Glas: kostengünstige ITO-Beschichtungen mittels HiPIMS

By B. Szyszka, V. Sittinger, S. Ulrich, W. Beontoro and W. Werner

Abstract

Die HiPIMS-Technologie (Hochleistungs-Impuls-Magnetronsputtern) ermöglicht die Herstellung transparent leitfähiger ITO(Indium-Zinnoxid)-Beschichtungen auf Glas bei Raumtemperatur. Es resultieren nanokristalline Schichten, die biegefähig sind und die im getemperten Zustand eine gegenüber dem Floatglas verbesserte mechanische und chemische Beständigkeit aufweisen. So hergestellte Schichten erfüllen erstmals die Anforderungen der Automobilindustrie hinsichtlich der Beständigkeit der Schichten in chemischen Belastungstests sowie im Taber-, Kratz- und Sandriesel-Test. Die am Fraunhofer IST auf 75 cm Quellen entwickelte und patentierte Technologie arbeitet bei Raumtemperatur und ist sehr gut aufskalierbar. Die Beschichtungen sind temperfähig beziehungsweise sogar biegbar. Bezüglich der Herstellungskosten wäre eine Massenproduktion derzeit mit etwa 40 Euro/m2 anzusetzen, wobei die Dicke der ITO-Schicht 140 nm beträgt. Durch eine Verbesserung der Kostenstruktur in der Fertigung lassen sich mittelfristig auch deutlich reduzierte Kosten in der Größenordnung von 10 Euro/m2 erwarten. Die Autoren gehen davon aus, dass die ITO-HiPIMS-Technologie innerhalb von drei Jahren für die industrielle Serienfertigung solcher Schichten überführt werden kann

Topics: Magnetronzerstäubung, Impulsverfahren, Hochleistung, Indiumzinnoxid, Fertigungskosten, Dünnschicht, lichtempfindliches Glas, Glaserzeugnis, Wärmeschutzschicht, optische Transparenz, Eisbildung, Wärmestrahlung
Year: 2011
OAI identifier: oai:fraunhofer.de:N-183624
Provided by: Fraunhofer-ePrints
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