Location of Repository

Design and Simulation of Micro-Bolometer in MEMS Technology

By Vojtěch Svatoš

Abstract

Tato diplomová práce zkoumá problematiku detektoru infračerveného záření nazývaného bolometr. Cílem je pokrok v detekci infračerveného záření použitím odlišné absorpční vrstvy modifikovanou karbonovými nanotrubicemi. V teoretické části jsou uvedeny základní fyzikální pojmy z problematiky teplotního managmentu a základních fyzikálních vztahů bolometru. Design bolometru je představen a popsán. Teplotně mechanické simulace předvídají chování bolometru při detekci infračerveného záření. PSpice model je vytvořen a kombinuje termální a elektrické vlastnosti čipu bolometru. Dále je uveden proces výroby bolometru, které je detailně popsán

Topics: Infrared detectors; simulace.; výrobní proces; fabrication process; thermal engineering; teplotní managment; mikrobolometr; design; Detektory infračerveného záření; simulation.; microbolometer
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Year: 2014
OAI identifier: oai:invenio.nusl.cz:221020
Download PDF:
Sorry, we are unable to provide the full text but you may find it at the following location(s):
  • http://www.nusl.cz/ntk/nusl-22... (external link)
  • Suggested articles


    To submit an update or takedown request for this paper, please submit an Update/Correction/Removal Request.