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Entwicklung einer Pilotanlage fuer eine vollautomatische Halbleiterfertigungszelle mit lokalen Reinraeumen Abschlussbericht

By R. Simon, M. Renz, H. Bauer, M. Engelhard, M. Meier, P. Csatary, R. Eiermann, Bonn (Germany) Bundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT) and Stuttgart (Germany) Meissner und Wurst G.m.b.H. und Co.

Abstract

TIB Hannover: FR 4289 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekSIGLEDEGerman

Topics: 13H - Industrial processes, manufacturing processes, 13I - Machinery, tools
Year: 1990
OAI identifier:
Provided by: OpenGrey Repository
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