Location of Repository

Synthesis of optoelectronic system for control of microelectronic structures

By Г. А. Трапашко

Abstract

Совершенствование оборудования для контроля размеров и формы микроэлектронных структур на соответствие проектным данным и отсутствие привнесенных в него дефектов и загрязнений требует развития оптоэлектронных систем регистрации изображений структурных элементов. Синтез этих систем можно осуществлять с помощью метода, позволяющего установить обоснованность использования в ней источника излучения и определить основные функциональные параметры оптоэлектронной системы. Приведены результаты использования метода при разработке оптоэлектронной системы, работающей с разрешением 250 нм. Показано, что в контрольном оборудовании можно применять светодиоды вместо традиционно используемых галогенных и ртутно-ксеноновых ламп

Topics: Микроэлектроника, Оптоэлектронная система, Видеокамера, Светодиод
Publisher: БНТУ
Year: 2014
OAI identifier: oai:rep.bntu.by:data/6953
Download PDF:
Sorry, we are unable to provide the full text but you may find it at the following location(s):
  • http://rep.bntu.by/handle/data... (external link)
  • Suggested articles


    To submit an update or takedown request for this paper, please submit an Update/Correction/Removal Request.