oaioai:edpsciences.org:dkey/10.1051/jp4:1999551

Réalisation d'un montage de projection pour l'ablation submicronique par laser à excimère

Authors
Publication date
1 January 1999
Publisher
EDP Sciences
Doi

    Abstract

    Un montage de projection par laser à excimère KrF permet la mise en forme de faisceaux microscopiques et leur utilisation pour le micro-usinage par photoablation des surfaces de matériaux, en particulier des polymères. La lentille de projection, de grande ouverture numérique, conduit à une résolution submicronique

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