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Transporte atômico e caracterização composicional de nanoestruturas Al/sub 2/O/sub 3//Si submetidas a tratamentos térmicos em diferentes atmosferas

By Leonardo Miotti and Tania Denise Miskinis Salgado

Abstract

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Topics: Física, Filmes finos dielétricos : Tratamento térmico, Implementação Iônica, Ciências exatas e da terra
Year: 2000
OAI identifier: oai:www.lume.ufrgs.br:10183/79278
Provided by: Lume 5.8

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