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用于光电子器件的低成本、高反射率 SOR衬底(英文)

By 李成, 杨沁青, 王红杰 and 王启明

Abstract

报道了一种包含一薄层单晶硅和隐埋Si/SiO_2布拉格反射器的SOR衬底。这种可用于光电子器件的衬底是由硅基乳胶粘接和智能剥离技术研制而成的。在垂直光照条件下,这种SOR衬底在1.3μm处的反射率接近100%

Topics: 光电子学
Year: 2001
OAI identifier: oai:ir.semi.ac.cn:172111/18713
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