Article thumbnail

溶胶-凝胶法制备光波导薄膜及性质的研究

By 姜永睿, 胡雄伟, 杨沁清, 王红杰, 杨澜, 郑金红 and 谢二庆

Abstract

采用有机改性硅酸盐制备了光敏性溶胶-凝胶,并在凝胶中加入四丙氧基锆作为调节折射率的材料;用该凝胶在硅片上提拉成膜.为了增加薄膜与硅片的粘附性,成膜前先用干氧热氧化法在硅片上生长了一层厚度约为1500的二氧化硅;样品的原子力相片表明薄膜的表面非常平整,在5×5 μm2的范围内最大表面起伏只有0.657 nm.利用波导阵列掩膜版, 对制备的薄膜在紫外光波段下曝光,得到了表面平坦、侧墙光滑、陡直的沟道波导阵列.研究发现:紫外曝光时间和坚膜时的后烘温度都会使薄膜的折射率增大.通过对样品红外吸收谱的分析,从微观机理上解释了折射率随工艺条件变化的原因

Topics: 光电子学
Year: 2004
OAI identifier: oai:ir.semi.ac.cn:172111/17413
Download PDF:
Sorry, we are unable to provide the full text but you may find it at the following location(s):
  • http://ir.semi.ac.cn/handle/17... (external link)
  • Suggested articles


    To submit an update or takedown request for this paper, please submit an Update/Correction/Removal Request.