研究解説（公開講演） : インテリジェントマイクロメカトロニクス

Abstract

超小型の知的メカトロニクスシステムを美現するためには、IC製造用微細加工技術を用いるアプローチと、極限的な精密機械加工を用いるアプローチ、さらにこうして作られた微小デバイスを統合するメカトロニクスのアプローチの3つが必要である。これらの技術の最先端を、生産研での成果を中心に解説する。特に、静電気や超電導を用いたマイクロアクチュエータ、マイクロ放電加工、衝撃力による微細位置決め法について述べ

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http://hdl.handle.net/2261/434... (external link)