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Fabrication, characterization and modelling of multilayered cantilevers with piezoelectric AlN ceramic as actuator

By Patrick DELOBELLE, KRUPA K., HIRSINGER L., GORECKI C., NIERADKO L. and ANDREI A.

Abstract

Ce papier présente les potentialités de films d'AlN piézoélectriques comme éléments actionneurs pour les MEMS. Le cas de micro-poutres constituées d'un empilement de différents films (électrode/AlN/électrode/Si est présenté. Un dispositif interférométrique de type Twyman-Green permet de quantifier très précisement les déformées et les déplacements, en statique ou en dynamique,ce qui permet de calculer différentes grandeurs physiques des films d'AlN, par exemple le module d'Young, les contraintes résiduelles liées au processus d'élaboration des structures, le coefficient de dilatation ainsi que le coefficient piézoélectrique d31. Pour les films bien orientés (002)on retrouve sensiblement les valeurs de la littérature pour les matériaux massifs

Topics: S18 Micro et nano systèmes, MEMS, biocapteurs ; MEMS et micromécanique, poutre multimorphe, AlN piézoélectrique, effet thermique
Publisher: AFM, Maison de la Mécanique, 39/41 rue Louis Blanc - 92400 Courbevoie
Year: 2007
OAI identifier: oai:documents.irevues.inist.fr:2042/16608
Provided by: I-Revues
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