Розробка частотоміра на базі контролера Arduino

Abstract

Методика вимірювання товщини тонких плівок за падінням частоти на пластині кварцу має багато переваг у порівнянні з іншими методами. Такий підхід дозволяє контролювати товщину плівок в процесі напилення у режимі реального часу та має високу точність. Однією з проблем розповсюдження даного методу є висока вартість частотомірів та складність їх самостійного виготовлення. Нами була поставлена задача розробки приладу для вимірювання частоти з мінімальною вартістю і максимальним використанням елементів, що виготовляються серійно