Article thumbnail

Розробка частотоміра на базі контролера Arduino

By С.О. Наконечний

Abstract

Методика вимірювання товщини тонких плівок за падінням частоти на пластині кварцу має багато переваг у порівнянні з іншими методами. Такий підхід дозволяє контролювати товщину плівок в процесі напилення у режимі реального часу та має високу точність. Однією з проблем розповсюдження даного методу є висока вартість частотомірів та складність їх самостійного виготовлення. Нами була поставлена задача розробки приладу для вимірювання частоти з мінімальною вартістю і максимальним використанням елементів, що виготовляються серійно

Topics: тонкі плівки, тонкие пленки, thin films, частотомір, частотомер, cymometer
Publisher: Сумський державний університет
Year: 2016
OAI identifier: oai:essuir.sumdu.edu.ua:123456789/45998

Suggested articles


To submit an update or takedown request for this paper, please submit an Update/Correction/Removal Request.