Skip to main content
Article thumbnail
Location of Repository

Metālu oksīdu pusvadītāju gāzes sensori

By Andris Šutka

Abstract

Literatūras apskatā izdiskutēta metāla oksīdu pusvadītāju gāzes jūtības mehānisms. MOS gāzes sensoru jūtības raksturlielumi var tikt uzlaboti kontrolējot fundamentālus faktorus, kas ietekmē receptora un pārveidotāja funkcijas. MOS gāzes sensoru īpašības lielā mērā atkarīgas no pusvadītāja tipa, pārneses zonas biezuma un mikrostruktūras. Jūtība var tikt modificēta veicot struktūras reorganizāciju un izmainot tās uzbūves elementus, kā arī pielietojot cēlmetālu vai citus MOS modifikatorus

Topics: Gas sensors
OAI identifier: oai:ortus.rtu.lv:12747
Sorry, our data provider has not provided any external links therefore we are unable to provide a link to the full text.

Suggested articles


To submit an update or takedown request for this paper, please submit an Update/Correction/Removal Request.