Article thumbnail
Location of Repository

Recombination currents in bipolar semiconductor devices made with the chemical vapour deposition technique

By Cornelis Antonius Grimbergen

Abstract

In het proefschrift wordt het onderzoek beschreven naar de waarde van de siloxtechniek (depositie van silicium-oxidelagen vanuit de gasfase) voor het vervaardigen van bipolaire siliciumcomponenten. Daartoe is een siloxopstelling in eigen laboratorium gebouwd. De diffusie vanuit siloxlagen, verontreinigd met doopstoffen, het silicium in, wordt beschreven aan de hand van de diffusie van fosfor en van borium. ... Zie: Samenvatting

Year: 1977
OAI identifier: oai:ub.rug.nl:dbi/4815d2b74cc41
Download PDF:
Sorry, we are unable to provide the full text but you may find it at the following location(s):
  • http://irs.ub.rug.nl/ppn/80186... (external link)
  • Suggested articles


    To submit an update or takedown request for this paper, please submit an Update/Correction/Removal Request.